WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007023851) プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/023851    国際出願番号:    PCT/JP2006/316488
国際公開日: 01.03.2007 国際出願日: 23.08.2006
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YONEZAWA, Toshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUKADA, Syuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YONEZAWA, Toshihiro; (JP).
TSUKADA, Syuichi; (JP)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Shinjuku Akebonobashi Building 1-12, Sumiyoshi-cho, Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
優先権情報:
2005-244840 25.08.2005 JP
発明の名称: (EN) PROBE DEVICE AND METHOD OF REGULATING CONTACT PRESSURE BETWEEN OBJECT TO BE INSPECTED AND PROBE
(FR) DISPOSITIF SONDE ET PROCEDE DE REGULATION DE PRESSION DE CONTACT ENTRE L’OBJET A INSPECTER ET LA SONDE
(JA) プローブ装置及び被検査体とプローブとの接触圧の調整方法
要約: front page image
(EN)Contact pressure between a wafer and a probe is maintained at an appropriate level. A probe card (2) has a contactor (11) for supporting a probe (10), a printed wiring board (13) electrically connected to the contactor (11), and a reinforcement member (14). On the upper surface side of the probe card (2) is provided a top plate (70) connected to the reinforcement member (14) by a connection member (80). A groove (90) is formed in the upper surface of the top plate (70), and a strain gauge (91) is attached at the groove (90). When a wafer (W) and the probe (10) are in contact with each other, an upward load acts on the probe card (2) by pressure caused by the contact, and the load causes strain in the top plate (70). The amount of the strain in the top plate (70) is measured, and contact pressure between the wafer (W) and the probe (10) is regulated and set based on the amount of the strain.
(FR)L’invention permet de maintenir à un niveau approprié la pression de contact entre une galette et une sonde. Une carte sonde (2) possède un contacteur (11) permettant de supporter une sonde (10), une carte à circuit imprimé (13) connectée électriquement au contacteur (11), et un élément de renfort (14). A la surface supérieure de la carte sonde (2) se trouve une plaque supérieure (70) connectée à l'élément de renfort (14) par un élément de connexion (80). Une rainure (90) est formée dans la surface supérieure de la plaque supérieure (70), et une jauge de contrainte (91) est fixée à la rainure (90). Si une galette (W) et la sonde (10) sont au contact l’une de l’autre, une charge ascendante agit sur la carte sonde (2) par la pression provoquée par le contact, et la charge provoque une contrainte dans la plaque supérieure (70). Le degré de contrainte dans la plaque supérieure (70) est mesuré, et la pression de contact entre la galette (W) et la sonde (10) est régulée et réglée sur la base du degré de contrainte.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)