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1. (WO2007023552) 真空蒸着用アライメント装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/023552    国際出願番号:    PCT/JP2005/015453
国際公開日: 01.03.2007 国際出願日: 25.08.2005
IPC:
C23C 14/04 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01)
出願人: HITACHI ZOSEN CORPORATION [JP/JP]; 7-89, Nanko-kita 1-chome, Suminoe-ku, Osaka-shi, Osaka 5598559 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OKADA, Toshiyuki; (米国のみ).
KIKUCHI, Masahiro; (米国のみ)
発明者: OKADA, Toshiyuki; .
KIKUCHI, Masahiro;
代理人: MORIMOTO, Yoshihiro; All Nippon Airways(Nishi-Hommachi)Bldg., 4th Floor, 10-10, Nishi-Hommachi 1-chome, Nishi-ku Osaka-shi, Osaka 5500005 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ALIGNMENT DEVICE FOR VACUUM DEPOSITION
(FR) DISPOSITIF D'ALIGNEMENT POUR DÉPOSITION SOUS VIDE
(JA) 真空蒸着用アライメント装置
要約: front page image
(EN)An alignment device for vacuum deposition, having a substrate holder (11) held above a mask, the substrate holder (11) being held in a vacuum container (3) by a suspension member (12) inserted through a through-hole (1b) formed in a plate (1a) for installation that is an upper wall surface of the vacuum container; a plate (13) for connection, provided outside the vacuum container and connected to the suspension member; a position adjustment device (14) capable adjusting the position relative to the mask of a substrate (5) in a deposition chamber (2) by moving the plate for connection; an extendable tubular shielding member (15) fitted over the suspension member and provided between the outer periphery of the through-hole (1b) in the plate for installation and the plate for connection, shielding between the vacuum side and the atmosphere side; and an urging device (16) for generating urging force in the direction reverse to that of pressing force that is generated by the inside of the tubular member being vacuum and is applied to the plate for connection.
(FR)Dispositif d'alignement pour déposition sous vide, ayant un support de substrat (11) maintenu au-dessus d’un masque, le support de substrat (11) étant renfermé dans un conteneur sous vide (3) par un élément de suspension (12) inséré dans un trou traversant (1b) formé dans une plaque (1a) pour installation constituant une surface de paroi supérieure du conteneur sous vide ; une plaque (13) pour connexion, disposée à l’extérieur du conteneur sous vide et connectée à l'élément de suspension ; un dispositif de réglage de position (14) capable de régler la position par rapport au masque d’un substrat (5) dans une chambre de déposition (2) en déplaçant la plaque pour connexion ; un élément de protection tubulaire extensible (15) recouvrant l'élément de suspension et disposé entre la périphérie externe du trou traversant (1b) dans la plaque pour installation et la plaque pour connexion, assurant un écran entre le côté sous vide et le côté atmosphère ; et un dispositif de refoulement (16) afin de générer une force de refoulement dans le sens inverse à celui de la force de pression générée par l’intérieur de l’élément tubulaire sous vide et appliquée à la plaque pour connexion.
(JA) 真空容器(3)内に保持されたマスクの上方に、真空容器の上壁面である取付用板(1a)に形成された貫通穴(1b)を挿通された吊持部材(12)を介して保持された基板ホルダ(11)と、真空容器の外部に設けられて吊持部材に連結された連結用板(13)と、この連結用板を移動させて蒸着室(2)内の基板(5)のマスクに対する位置を調整し得る位置調整装置(14)と、吊持部材に外嵌されるとともに取付用板の貫通穴(1b)の外周と連結用板との間に設けられて真空側と大気側とを遮断する伸縮式筒状遮断部材(15)と、この筒状遮断部材の内側が真空状態であることにより発生する連結用板への押圧力と逆方向の付勢力を発生させる付勢装置(16)とが具備されたもの。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)