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1. (WO2007010736) 保護膜製造方法、無機膜製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/010736    国際出願番号:    PCT/JP2006/313242
国際公開日: 25.01.2007 国際出願日: 03.07.2006
予備審査請求日:    17.05.2007    
IPC:
H01L 21/316 (2006.01), B32B 9/00 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/04 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
出願人: PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku, Tokyo 1538654 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHIZAWA, Tatsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YOSHIZAWA, Tatsuya; (JP)
代理人: ISHIKAWA, Yasuo; Park Shiba Building 2F 17-11, Shiba 2-chome Minato-ku Tokyo1050014 (JP)
優先権情報:
2005-208349 19.07.2005 JP
発明の名称: (EN) PROTECTION FILM MANUFACTURING METHOD AND INORGANIC FILM MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILM DE PROTECTION ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILM INORGANIQUE
(JA) 保護膜製造方法、無機膜製造方法
要約: front page image
(EN)A method for manufacturing a protection film for further improving density of an inorganic film or a method for manufacturing the inorganic film is provided. In a method for manufacturing an organic EL element (100) as an element, a barrier film (12) as a protection film for protecting an organic TFT (50), and a sealing film (20), an incompletely oxidized inorganic film (120) is formed prior to oxidation, and the formed inorganic film (120) is oxidized to be at least a part of the protection film.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un film de protection destiné à augmenter la densité d'un film inorganique, ou un procédé de fabrication du film inorganique. Au cours d'un procédé de fabrication d'un élément EL organique (100) en tant qu’élément, d'un film barrière (12) en tant que film de protection pour un TFT organique (50), et d'un film de scellement (20), un film inorganique n'étant pas complètement oxydé (120) est formé avant oxydation, et ce film inorganique (120) est oxydé afin de former au moins une partie du film de protection.
(JA) 無機膜の緻密性をより十分とできる保護膜の保護膜製造方法または無機膜製造方法の提供する。  素子たる有機EL素子100、有機TFT50を保護する保護膜たるバリア膜12、封止膜20の製造方法は、完全に酸化していない酸化前無機膜120を形成し、形成した酸化前無機膜120を酸化させて保護膜の少なくとも一部とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)