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1. (WO2007010725) ウェハ位置教示方法および教示治具装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/010725    国際出願番号:    PCT/JP2006/313027
国際公開日: 25.01.2007 国際出願日: 29.06.2006
IPC:
B25J 9/22 (2006.01), B25J 19/06 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI [JP/JP]; 2-1, Kurosaki-shiroishi, Yahatanishi-ku, Kitakyushu-shi Fukuoka 8060004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ADACHI, Masaru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KAWABE, Mitsunori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ADACHI, Masaru; (JP).
KAWABE, Mitsunori; (JP)
優先権情報:
2005-206304 15.07.2005 JP
発明の名称: (EN) WAFER POSITION TEACHING METHOD AND TEACHING TOOL
(FR) PROCÉDÉ D’ENSEIGNEMENT DE POSITION DE GALETTE ET OUTIL D’ENSEIGNEMENT
(JA) ウェハ位置教示方法および教示治具装置
要約: front page image
(EN)A method for teaching the wafer position precisely and automatically without causing interference even when the frontage of processing equipment is narrow, and an external teaching tool therefor. In the method for teaching a wafer position in a wafer carrying system, a robot for carrying a semiconductor wafer between a container and the processing equipment or between two units of the processing equipment is installed with a teaching tool (16) at the position of the container or the processing equipment where a semiconductor wafer is to be set, and the position of a semiconductor wafer is taught to the robot by detecting the teaching tool by a sensor provided at the wafer gripping portion of the robot. Prior to sensing the teaching tool (16) by means of a sensor, an external teaching tool (17) installed on the front outer wall of the processing equipment is sensed by means of a sensor and the position of the teaching tool is estimated roughly. Based on the estimated position, the teaching tool is approached and sensed thus determining the position of the semiconductor wafer.
(FR)L’invention concerne un procédé d’apprentissage de position de galette à la fois précis et automatique et ne provoquant d’interférence même lorsque la face frontale de l’équipement de traitement est étroite, et un outil d’apprentissage externe idoine. Selon le procédé d’apprentissage de position d’une galette dans un système de transport de galettes, un robot de transport de galettes semi-conductrices entre un conteneur et l’équipement de traitement ou bien entre deux unités de l’équipement de traitement est pourvu d’un outil d’apprentissage (16) au niveau du conteneur ou bien de l’équipement de traitement à l’endroit auquel disposer une galette semi-conductrice, et la position d’une galette semi-conductrice est enseignée au robot grâce à la détection de l’outil d’apprentissage à l’aide d’un capteur disposé au niveau de la portion de préhension de galette du robot. Avant de détecter l’outil d’apprentissage (16) au moyen d’un capteur, un outil d’apprentissage externe (17) installé sur la paroi externe avant de l’équipement de traitement est détecté par un capteur et la position de l’outil d’apprentissage est estimée de façon grossière. Sur la base de la position estimée, l’outil d’apprentissage est approché et détecté, pour ainsi déterminer la position de la galette semi-conductrice.
(JA) 処理装置の間口の狭い場合でも、干渉させることなくウェハ位置を精度良く自動的に教示する方法およびその外部教示治具を提供する。  本発明のウェハ搬送装置のウェハ位置教示方法は、収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに、収納容器あるいは処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示治具(16)を設置し、ロボットのウェハ把持部に設けたセンサで教示治具を検出することにより、ロボットに半導体ウェハの位置を教示するもので、教示治具(16)をセンサでセンシングする前に、処理装置の前面外壁に設置した外部教示治具(17)をセンサでセンシングにてセンシングを行い教示治具の位置をラフに推定し、その推定位置に基づいてセンサで教示治具にアプローチし、センシングして半導体ウェハの位置を求めるものである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)