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1. (WO2007007642) 基板の搬送装置及び搬送方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/007642    国際出願番号:    PCT/JP2006/313503
国際公開日: 18.01.2007 国際出願日: 06.07.2006
IPC:
B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008405 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUBO, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TABATA, Masatsugu [JP/KR]; (KR) (米国のみ)
発明者: KUBO, Takashi; (JP).
TABATA, Masatsugu; (KR)
代理人: SENMYO, Kenji; Torimoto Kogyo Bldg. 38, Kanda-Higashimatsushitacho Chiyoda-ku, Tokyo 1010042 (JP)
優先権情報:
2005-200051 08.07.2005 JP
発明の名称: (EN) APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
(JA) 基板の搬送装置及び搬送方法
要約: front page image
(EN)Provided is a substrate transfer apparatus having excellent workability which can transfer a substrate without taking around a vacuum pump and a power supply code of the vacuum pump while transferring the substrate. The substrate transfer apparatus is provided with a plurality of suction pads on a main body, and the substrate is held and transferred by vacuum-sucking the substrate by the suction pads. The substrate transfer apparatus is characterized in that the suction pads are provided with a vacuum chamber through a first valve, and the vacuum pump is removably attached to the vacuum chamber through a second valve and a connecting section.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de transfert de substrat présentant une excellente exploitabilité, qui permet de transférer un substrat sans recourir à une pompe à vide et à un module d’alimentation de celle-ci pendant l’exécution de l’opération. Le dispositif de transfert de substrat comprend une pluralité de ventouses sur un corps principal, et le substrat est maintenu et transféré par aspiration au moyen des ventouses. Le dispositif de transfert de substrat se caractérise en ce que les ventouses comprennent une cloche à vide reliée par un premier clapet, la pompe à vide étant fixée de manière libérable à ladite cloche par un organe de raccord et un second clapet.
(JA) 本発明は、真空ポンプ及び真空ポンプの電源コードを搬送中に引き回すことなく基板を搬送可能な作業性のよい基板の搬送装置を提供する。  本体に複数の吸着パッドが取り付けられ、これらの吸着パッドによって基板を真空吸着することにより、該基板を保持させて搬送する基板の搬送装置において、前記吸着パッドには第1のバルブを介して真空チャンバが設けられ、該真空チャンバは第2のバルブと連結部を介して真空ポンプが脱着可能に取り付けられることを特徴とする基板の搬送装置。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)