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1. (WO2007007549) 面位置検出装置、露光装置、および露光方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/007549    国際出願番号:    PCT/JP2006/312852
国際公開日: 18.01.2007 国際出願日: 28.06.2006
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G03F 9/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIDAKA, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGAYAMA, Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIDAKA, Yasuhiro; (JP).
NAGAYAMA, Tadashi; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasacho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
優先権情報:
2005-200178 08.07.2005 JP
発明の名称: (EN) SURFACE POSITION DETECTION APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND EXPOSURE METHOD
(FR) APPAREIL DE DETECTION DE LA POSITION D’UNE SURFACE, APPAREIL D’EXPOSITION ET PROCEDE D’EXPOSITION
(JA) 面位置検出装置、露光装置、および露光方法
要約: front page image
(EN)A surface position detection apparatus capable of highly precisely detecting the surface position of a surface to be detected without substantially being affected by relative positional displacement due to a polarization component occurring in a light flux having passed through a reflective surface. In the apparatus, a projection system has a projection side prism member (7) having first reflective surfaces (7b, 7c), and a light receiving system has a light receiving prism member (8) having second reflective surfaces (8b, 8c) arranged in correspondence with the projection side prism member. The surface position detection apparatus further has a member for compensating relative positional displacement due to a polarization component of a light flux having passed through the first and second reflective surfaces.
(FR)L’invention concerne un appareil de détection de la position d’une surface, capable de détecter avec une grande précision la position d’une surface sans être sensiblement affecté par un déplacement relatif, dû à un élément polarisant, d’un flux de lumière qui a traversé une surface réfléchissante. L’appareil comprend un système de projection comportant un élément formant prisme latéral de projection (7) possédant des premières surfaces réfléchissantes (7b, 7c), et un système récepteur de lumière comportant un élément formant prisme récepteur de lumière (8) possédant des deuxièmes surfaces réfléchissantes (8b, 8c) et disposé de façon à correspondre à l’élément formant prisme latéral de projection. L’appareil de détection de la position d’une surface comprend en outre un élément de compensation du déplacement relatif, dû à un élément polarisant, d’un flux de lumière qui a traversé les premières et deuxièmes surfaces réfléchissantes.
(JA) 反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。投射系は、第1反射面(7b,7c)を有する投射側プリズム部材(7)を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第2反射面(8b,8c)を有する受光側プリズム部材(8)を備えている。第1反射面および第2反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)