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World Intellectual Property Organization
1. (WO2007007544) プローブカード

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/007544    国際出願番号:    PCT/JP2006/312790
国際公開日: 18.01.2007 国際出願日: 27.06.2006
H01L 21/66 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/26 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AMEMIYA, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HOSAKA, Hisatomi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AMEMIYA, Takashi; (JP).
HOSAKA, Hisatomi; (JP)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International, Shinjuku Akebonobashi Building, 1-12, Sumiyoshi-cho, Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
2005-203285 12.07.2005 JP
発明の名称: (EN) PROBE CARD
(JA) プローブカード
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To stabilize the contact between probes and a wafer. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A probe card comprises a contactor for supporting probes and a printed circuit board electrically connected to the contactor. An elastic sheet is sandwiched between the contactor and printed circuit board. The elastic sheet is so formed that its elasticity becomes smaller on the center of the contactor than on the periphery. The elastic reaction force acting on the contactor from the elastic sheet when the elastic sheet is compressed is smaller on the center of the contactor than on the periphery. This reduces the amount of warp at the central part of the contactor, where the maximum warp occurs because it is remote from the fixed end, so that the flatness of the contactor can be maintained.
(FR)L’invention entend stabiliser le contact entre des sondes et une galette. L’invention concerne une carte sonde comprenant un contacteur afin de supporter des sondes et une carte de circuit imprimé connectée électriquement au contacteur. Une feuille élastique est prise en sandwich entre le contacteur et la carte de circuit imprimé. La feuille élastique est formée de façon à ce que son élasticité devienne plus faible au centre du contacteur qu’à la périphérie. La force de réaction élastique agissant sur le contacteur à partir de la feuille élastique lorsque la feuille élastique est comprimée est plus faible au centre du contacteur qu’à la périphérie. Ceci réduit la quantité de gauchissement au niveau de la partie centrale du contacteur, où la majorité du gauchissement se produit parce qu’elle est éloignée de l’extrémité fixe, ce qui permet de conserver la planéité du contacteur.
(JA)【課題】ウェハとプローブとの接触を安定させる。 【解決手段】プローブカードは、プローブを支持するコンタクタと、コンタクタと電気的に接続されるプリント配線基板を備える。コンタクタとプリント配線基板との間には、弾性シートが介在される。弾性シートは、コンタクタの外周側よりも中央側の弾性が弱くなるように形成される。弾性シートが圧縮されたときに弾性シートからコンタクタに作用する弾性反力は、コンタクタの外周側に比べて中央部側が弱くなる。これにより、固定端から離れ最大に撓むコンタクタの中央部の撓み量が低減され、コンタクタの水平性が維持される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)