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1. WO2007007462 - 弾性境界波装置及びその製造方法

公開番号 WO/2007/007462
公開日 18.01.2007
国際出願番号 PCT/JP2006/309328
国際出願日 09.05.2006
IPC
H03H 9/145 2006.1
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
H03H 3/08 2006.1
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
3インピーダンス回路網,共振回路,共振器の製造に特有な装置または工程
007電気機械的共振器または回路網の製造のためのもの
08弾性表面波を用いる共振器または回路網の製造のためのもの
H01L 41/09 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
09電気的入力および機械的出力をもつもの
H01L 41/18 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
H01L 41/22 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
CPC
H03H 9/0222
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
0222of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
H03H 9/02228
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
02228Guided bulk acoustic wave devices or Lamb wave devices having interdigital transducers situated in parallel planes on either side of a piezoelectric layer
出願人
  • 株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 神藤 始 KANDO, Hajime [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 神藤 始 KANDO, Hajime
代理人
  • 宮▲崎▼ 主税 MIYAZAKI, Chikara
優先権情報
2005-20560814.07.2005JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELASTIC BOUNDARY WAVE DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
(FR) DISPOSITIF À ONDES LIMITES ÉLASTIQUES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION CORRESPONDANT
(JA) 弾性境界波装置及びその製造方法
要約
(EN) An elastic boundary wave device (1) reduced in size, enabling the advancement of a reduction in height, and manufacturable at low cost. A first IDT electrode (3) is formed on the first surface (2a) of a substrate (2), and a first dielectric film (5) is formed so as to cover the first IDT electrode (3). A second IDT electrode (4) is formed on the second surface (2b) of the substrate, and a second dielectric film (6) is formed so as to cover the second IDT electrode (4). Either of the substrate and the first and second dielectric films (5) and (6) comprises piezoelectricity.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à ondes limites élastiques (1) de taille réduite, qui favorise une diminution de la hauteur et peut être fabriqué à moindre coût. Une première électrode de transducteur interdigital (IDT) (3) est formée sur la première surface (2a) d'un substrat (2) et un premier film diélectrique (5) est disposé de manière à recouvrir la première électrode IDT (3). Une seconde électrode IDT (4) est formée sur la seconde surface (2b) du substrat et un second film diélectrique (6) est disposé de manière à recouvrir la seconde électrode IDT (4). Le substrat et le premier et le second film diélectrique (5, 6) possèdent chacun des propriétés piézoélectriques.
(JA)  小型であり、低背化を進めることができ、かつ安価に提供することができる弾性境界波装置を提供する。  基板2の第1の面2aに第1のIDT電極3が形成されており、第1のIDT電極3を覆うように第1の誘電体膜5が形成されており、第2の面2b上に第2のIDT電極4が形成されており、第2のIDT電極4を覆うように第2の誘電体膜6が形成されており、基板と第1,第2の誘電体膜5,6のうち、いずれか一方が圧電性を有する、弾性境界波装置1。
関連特許文献
国際事務局に記録されている最新の書誌情報