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1. (WO2007004295) 半導体装置及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/004295    国際出願番号:    PCT/JP2005/012404
国際公開日: 11.01.2007 国際出願日: 05.07.2005
IPC:
H01L 21/8246 (2006.01), H01L 27/105 (2006.01)
出願人: FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome Nakahara-ku Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKAHASHI, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGAI, Kouichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKAHASHI, Makoto; (JP).
NAGAI, Kouichi; (JP)
代理人: KOKUBUN, Takayoshi; 5th Floor, Ikebukuro TG Homest Building 17-8, Higashi-Ikebukuro 1-chome Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 半導体装置及びその製造方法
要約: front page image
(EN)A surface of a lower layer insulating film (55) is planarized by CMP method or the like, and an upper layer insulating film (56) and a metal protecting film (59) are formed on the lower layer insulating film (55). Therefore, the upper layer insulating film (56) and the metal protecting film (59) are formed in a status having excellent coverage, and a water/hydrogen blocking function of the upper layer insulating film (56) and the metal protecting film (59) are maximized.
(FR)La présente invention concerne un procédé consistant à planariser une surface d’un film isolant de couche inférieure (55) par polissage chimico-mécanique ou procédé similaire, et à former un film isolant de couche supérieure (56) et un film de protection métallique (59) sur le film isolant de couche inférieure (55). Ainsi, le film isolant de couche supérieure (56) et le film de protection métallique (59) obtenus présentent une excellente couverture, et une fonction d’étanchéité/blocage d’hydrogène du premier film (56) et du second film (59) est optimisée.
(JA) 本発明では、下層絶縁膜(55)の表面をCMP法等により平坦化し、この下層絶縁膜(55)上に上層絶縁膜(56)や金属保護膜(59)を形成する。従って、上層絶縁膜(56)及び金属保護膜(59)がカバレッジに優れた状態に形成されることになり、上層絶縁膜(56)及び金属保護膜(59)の水・水素の遮蔽機能を最大限に発揮させることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)