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1. (WO2007001044) 圧電/電歪素子の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/001044    国際出願番号:    PCT/JP2006/312971
国際公開日: 04.01.2007 国際出願日: 29.06.2006
IPC:
H01L 41/08 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01), H01L 41/18 (2006.01), H01L 41/187 (2006.01), H01L 41/193 (2006.01), H01L 41/22 (2013.01), H01L 41/257 (2013.01), H01L 41/39 (2013.01)
出願人: NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHNISHI, Takao [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WADA, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMADA, Tomohiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANI, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHNISHI, Takao; (JP).
WADA, Takashi; (JP).
YAMADA, Tomohiro; (JP).
TANI, Makoto; (JP)
代理人: WATANABE, Kazuhira; 3rd Fl., No.8 Kikuboshi Tower Building 20-18, Asakusabashi 3-chome Taito-ku, Tokyo 111-0053 (JP)
優先権情報:
2005-189326 29.06.2005 JP
2005-330589 15.11.2005 JP
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC/ELECTROSTRICTION ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D’ÉLÉMENT PIÉZOÉLECTRIQUE/D’ÉLECTROSTRICTION
(JA) 圧電/電歪素子の製造方法
要約: front page image
(EN)There is provided a piezoelectric/electrostriction element manufacturing method having a step for subjecting a piezoelectric/electrostriction film to a heating process and a polarization process after the film is left for a certain time to converge the value of an electric constant after the heating of the piezoelectric/electrostriction film. The piezoelectric/electrostriction element manufactured by this method has a sufficiently small stress remaining in the piezoelectric/electrostriction film, which will not degrade a predetermined ability as the piezoelectric/electrostriction element (piezoelectric/electrostriction film) such as a displacement amount, a displacement generation force, and power efficiency (power consumption).
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication d’élément piézoélectrique/d’électrostriction comprenant une phase de soumission d’un film piézoélectrique/d’électrostriction à un procédé de chauffage et un procédé de polarisation après que le film soit mis de côté un certain temps pour faire converger la valeur d’une constante électrique suite au chauffage du film piézoélectrique/d’électrostriction. L’élément piézoélectrique/d’électrostriction fabriqué au moyen de ce procédé présente une contrainte suffisamment limitée restant dans le film piézoélectrique/d’électrostriction pour ne pas détériorer une capacité prédéterminée en tant qu’élément piézoélectrique/d’électrostriction (film piézoélectrique/d’électrostriction) telle qu’un degré de déplacement, une force de génération de déplacement, et l’efficacité énergétique (consommation d’énergie).
(JA) 圧電/電歪膜に加熱処理を行い、その後に放置をして、圧電/電歪膜の加熱処理後における電気的定数の値が収束した後に、圧電/電歪膜に分極処理を行う工程を有する圧電/電歪素子の製造方法である。この方法で製造された圧電/電歪素子は、圧電/電歪膜の中に残留している応力が小さく、圧電/電歪素子(圧電/電歪膜)としての所定の能力、例えば変位量、変位発生力、電力効率(消費電力)が損なわれることがない。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)