WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007000914) 被処理体の搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/000914    国際出願番号:    PCT/JP2006/312326
国際公開日: 04.01.2007 国際出願日: 20.06.2006
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MACHIYAMA, Wataru [JP/JP]; (米国のみ).
ISHIZAWA, Shigeru [JP/JP]; (米国のみ).
KOIZUMI, Hiroshi [JP/JP]; (米国のみ).
HIROKI, Tsutomu [JP/JP]; (米国のみ).
KONDOH, Keisuke [JP/JP]; (米国のみ)
発明者: MACHIYAMA, Wataru; .
ISHIZAWA, Shigeru; .
KOIZUMI, Hiroshi; .
HIROKI, Tsutomu; .
KONDOH, Keisuke;
代理人: SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 1-12-9, Toranomon, Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2005-189026 28.06.2005 JP
発明の名称: (EN) CONVEYING EQUIPMENT OF ARTICLE TO BE PROCESSED
(FR) ÉQUIPEMENT DE CONVOYAGE D’ARTICLE À TRAITER
(JA) 被処理体の搬送装置
要約: front page image
(EN)A processing system (100) comprises a conveyance chamber (150), a plurality of chambers (140, 160) connected with the conveyance chamber, conveying equipment (180) arranged in the conveyance chamber, and a section (200) for controlling the conveying equipment. The conveying equipment comprises a base mount (182) capable of slide operation, and conveying arms (185A, 185B) capable of turning operation. The control section comprises a storage section and an operation controller. The storage section stores pattern model information about a plurality of operation patterns representative of a compound operation of a slide operation and a turning operation, and track model information about a time-dependent operation track corresponding to each operation pattern. The operation controller retrieves required information from the pattern model information and the track model information, and controls operation of conveying equipment according to that information.
(FR)L’invention concerne un système de traitement (100) comprenant une chambre de convoyage (150), une pluralité de chambres (140, 160) connectées à la chambre de convoyage, un équipement de convoyage (180) disposé dans la chambre de convoyage, et une section (200) pour commander l’équipement de convoyage. L’équipement de convoyage comprend un socle de base (182) capable de coulisser, et des bras de convoyage (185A, 185B) capables de tourner. La section de commande comprend une section de stockage et un contrôleur d’exploitation. La section de stockage permet de stocker des informations de modèle de motif concernant une pluralité de motifs de commande représentatifs d’une opération composée de coulissement et de rotation, et des informations de modèle de piste portant sur une piste de commande liée au temps correspondant à chaque motif d’exploitation. Le contrôleur d’exploitation récupère des informations requises à partir des informations de modèle de motif et des informations de modèle de piste, et commande l’exploitation de l’équipement de convoyage selon ces informations.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)