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1. (WO2007000864) シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/000864    国際出願番号:    PCT/JP2006/310424
国際公開日: 04.01.2007 国際出願日: 25.05.2006
IPC:
C30B 29/06 (2006.01)
出願人: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. [JP/JP]; Shinjuku San-ei Bldg. 12F, 1-22-2, Nishi-Shinjuku Shinjuku-ku Tokyo 1600023 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAKURADA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SONOKAWA, Susumu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUSEGAWA, Izumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAKURADA, Masahiro; (JP).
SONOKAWA, Susumu; (JP).
FUSEGAWA, Izumi; (JP).
MATSUI, Hiroshi; (JP)
代理人: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11 Ueno 7-chome, Taito-ku Tokyo 1100005 (JP)
優先権情報:
2005-190335 29.06.2005 JP
発明の名称: (EN) QUARTZ GLASS CRUCIBLE FOR PULLING UP OF SILICON SINGLE CRYSTAL AND PROCESS FOR PRODUCING THE QUARTZ GLASS CRUCIBLE
(FR) CREUSET EN VERRE QUARTZEUX D’EXCURSION ASCENDANTE DE SIMPLE CRISTAL DE SILICIUM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU CREUSET EN VERRE QUARTZEUX
(JA) シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボの製造方法
要約: front page image
(EN)Quartz glass crucible (5) for pulling up of a silicon single crystal having at least outer layer part (23) of a semi-transparent glass layer containing a vast plurality of bubbles and, provided on the inside surface of the outer layer part (23), inner layer part (24) of a transparent quartz glass layer containing no bubbles and having a smooth surface, characterized in that the outer layer part (23) is one containing, per cm3, 1.5 to 5.0×104 bubbles of 0.1 to 0.3 mm diameter. Thus, there is provided a quartz glass crucible for pulling up of silicon single crystal that through suppressing of any deformation of the quartz glass crucible during the pulling up of single crystal, prevents a yield drop attributable to occurrence of dislocations in the single crystal and attains an efficiency enhancement in the production of silicon single crystal, and that realizes an increase of mechanical strength. Further, there is provided a process for producing the same.
(FR)L’invention concerne un creuset en verre quartzeux (5) d’excursion ascendante de simple cristal de silicium ayant au moins une partie de couche externe (23) d’une couche de verre semi-transparente contenant une vaste pluralité de bulles et, sur la surface interne de la partie de couche externe (23), une partie de couche interne (24) d’une couche de verre quartzeux transparent ne contenant aucune bulle et ayant une surface lisse, caractérisé en ce que la partie de couche externe (23) contient, par cm3, 1,5 à 5,0×104 bulles de 0,1 à 0,3 mm de diamètre. L’invention concerne aussi un creuset en verre quartzeux d’excursion ascendante de simple cristal de silicium qui par suppression de toute déformation du creuset en verre quartzeux pendant l’excursion ascendante du simple cristal, empêche une chute de rendement imputable à l’apparence de dislocations dans le simple cristal et permet d’augmenter l’efficacité de la production de simple cristal de silicium et d’obtenir une plus grande résistance mécanique. Elle concerne enfin un procédé de fabrication idoine.
(JA) 本発明は、少なくとも、多数の気泡を含む半透明ガラス層の外層部23と、該外層部23の内表面に形成された無気泡でかつ表面が平滑な透明石英ガラス層の内層部24とからなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ5であって、前記外層部23は、径が0.1~0.3mmの気泡を1.5~5.0×10個/cm含んだものであることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ5である。これにより、シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボが単結晶引き上げ中に変形してしまうのを抑制することにより、単結晶の有転位化による歩留まりの低下を防ぎ、シリコン単結晶製造の高効率化を図ることができる、機械的強度が増大したシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)