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1. (WO2006112543) 検査装置および導電パターン検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/112543    国際出願番号:    PCT/JP2006/308683
国際公開日: 26.10.2006 国際出願日: 19.04.2006
IPC:
G01R 31/02 (2006.01), G01R 31/00 (2006.01), H05K 3/00 (2006.01)
出願人: OHT INC. [JP/JP]; 1118-1, Aza-Nishichujo, Kannabe-cho Fukuyama-shi, Hiroshima 7202103 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAMORI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAOKA, Shuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIOKA, Shogo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HAMORI, Hiroshi; (JP).
YAMAOKA, Shuji; (JP).
ISHIOKA, Shogo; (JP)
優先権情報:
2005-121410 19.04.2005 JP
発明の名称: (EN) INSPECTION DEVICE AND CONDUCTIVE PATTERN INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE CONTROLE DE RESEAU CONDUCTEUR
(JA) 検査装置および導電パターン検査方法
要約: front page image
(EN)There are provided an inspection device and an inspection method capable of detecting open/short-circuit of a conductive pattern. A tip end of a probe (30) is brought into contact with only one end of one of the conductive patterns (15a, 15b) regularly arranged. A sensor unit (20) having a size covering the wiring pattern and the adjacent pattern is positioned in a non-contact way at a predetermined distance from the patterns. The probe (30) and the sensor unit (20) are shifted over a substrate to be inspected by synchronizing the probe (30) and the sensor unit (20). It is judged whether the pattern is short-circuited according to, for example, a difference between the detection signal level in the normal state and the detection signal level in an abnormal state or the tendency of the signal change between the detection signals.
(FR)Cette invention concerne un dispositif et un procédé de contrôle permettant de détecter un état de circuit ouvert/court-circuit d’un réseau conducteur. La pointe d’une sonde (30) est mise en contact avec une seule borne de l’un des réseaux conducteurs (15a, 15b) agencés de manière normale. Un capteur (20) dont la taille couvre le schéma de câblage et le schéma adjacent est placé sans contact à une distance prédéterminée des réseaux. La sonde (30) et le capteur (20) sont déplacés sur un substrat à contrôler par synchronisation de la sonde (30) et du capteur (20). On détermine que le réseau présente un court-circuit en fonction, par exemple, d’une différence entre les niveaux du signal de détection en état normal et en état anormal ou de la tendance de variation des signaux de détection.
(JA)導電パターンのオープン/ショートを検出可能な検査装置と検査方法を提供する。規則的に配列された導電パターン15a,15bのいずれか一つの一方端のみにプローブ30の先端部を接触させるとともに、その配線パターンと隣接パターンに跨る大きさを有するセンサ部20を、それらのパターンから所定距離離間した位置に非接触で位置決めし、それらプローブ30とセンサ部20とを同期させて検査対象基板上を移動させる。そして、例えば、正常時の検出信号レベルと異常時の検出対象レベルの差や、検出信号間のレベル変化の傾向をもとにパターンの短絡等を判断する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)