WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2006112354) プローブおよびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/112354    国際出願番号:    PCT/JP2006/307834
国際公開日: 26.10.2006 国際出願日: 13.04.2006
IPC:
G01R 1/067 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
Octec Inc. [JP/JP]; 1-22-1-103, Wakaba, Shinjuku-ku, Tokyo 1600011 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HOSHINO, Tomohisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASHIMOTO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HARADA, Muneo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKUMURA, Katsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HOSHINO, Tomohisa; (JP).
HASHIMOTO, Hiroyuki; (JP).
HARADA, Muneo; (JP).
OKUMURA, Katsuya; (JP)
代理人: ITOH, Hidehiko; IMY INTERNATIONAL PATENT OFFICE Kyowa Shimanouchi Bldg. 21-19, Shimanouchi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5420082 (JP)
優先権情報:
2005-120208 18.04.2005 JP
発明の名称: (EN) PROBE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) SONDE ET MÉTHODE POUR LA FABRIQUER
(JA) プローブおよびその製造方法
要約: front page image
(EN)A probe (10) is composed of a beam section (11), which is formed in a bent planar L-shape with a supporting section (12) and a column section (13), and a contact (14), which is arranged at one end of the column section (13) to extend in the same direction as the direction in which the column section (13) extends. Both the supporting section (12) and the column section (13) are, for instance, formed of nickel or a nickel alloy having a substantially uniform thickness of approximately 70-80μm. The contact (14) has a board shape thinner than the beam section (11), and is formed of a nickel or a nickel alloy having a substantially uniform thickness of approximately 10-20μm. The contact (14) is formed to have a sharp leading edge section.
(FR)L'invention concerne une sonde (10) qui est composée d’une section de poutre (11) de forme plane pliée en L avec une section de support (12) et une section de colonne (13), et un contact (14) qui est disposé à une extrémité de la section de colonne (13) pour s’étendre dans la même direction que la direction dans laquelle la section de colonne (13) s’étend. À la fois la section de support (12) et la section de colonne (13) sont, par exemple, constituées de nickel ou d’un alliage de nickel d’une épaisseur pour l’essentiel uniforme d’environ 70 - 80 μm. Le contact (14) a la forme d’une plaque plus fine que la section de poutre (11) et est constitué de nickel ou d’un alliage de nickel d’une épaisseur pour l’essentiel uniforme d’environ 10 - 20 μm. Le contact (14) est mis en forme pour posséder une section d’arête avant aiguisée.
(JA)梁部11は支持部12と柱部13とでL字状の屈曲した平面形状に形成されており、柱部13の一端に、柱部13の延びる方向と同一方向に延びるように接触子14が設けられてプローブ10が構成されている。支持部12と柱部13はともに例えば約70~80μmのほぼ均一な厚みのニッケルあるいはニッケル合金で形成されており、接触子14は梁部11に比べて薄い板状で、約10~20μmのほぼ均一な厚みのニッケルあるいはニッケル合金で形成されている。接触子14は先端部を尖らせて形成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)