WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2006109709) データ生成方法、データ生成装置、及びプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/109709    国際出願番号:    PCT/JP2006/307430
国際公開日: 19.10.2006 国際出願日: 07.04.2006
IPC:
G03F 1/68 (2012.01), G03F 1/76 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01), G06F 17/50 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Katahira 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUMAMOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 2-39-1, Kurokami, Kumamoto-shi, Kumamoto 8608555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TANIGUCHI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORIMOTO, Tatsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKADA, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TANIGUCHI, Yoshiyuki; (JP).
MORIMOTO, Tatsuo; (JP).
NAKADA, Akira; (JP).
OHMI, Tadahiro; (JP)
代理人: IKEDA, Noriyasu; The Third Mori Building 4-10, Nishishinbashi 1-chome, Minato-ku Tokyo1050003 (JP)
優先権情報:
2005-110819 07.04.2005 JP
発明の名称: (EN) DATA GENERATING METHOD, DATA GENERATING DEVICE, AND PROGRAM
(FR) PROCEDE DE GENERATION DE DONNEES, DISPOSITIF DE GENERATION DE DONNEES, ET PROGRAMME
(JA) データ生成方法、データ生成装置、及びプログラム
要約: front page image
(EN)A data generating method, device, and program for generating drawing data used for drawing all of general design figure data with an accuracy on the order of 1 to 4 nm in relation to drawing methods and devices for drawing a pattern of two-dimensional array with a spot light which can be gradation-controlled. The date generating method is used for an exposure apparatus having a function of projecting multigradation-controllable spot lights onto the photosensitive film on a substrate in a two-dimensional array. In the method, the gradation values of the spot lights are generated according to the design figure data. Reference data describing combinations of the gradation values based on the positional relationship between the contour of the figure and the spot light for each contour feature of the figure is previously prepared. The contour feature in the design figure data near the position of each spot light is judged, a combination of the gradation values in the reference data corresponding to the positional relationship is selected, and the gradation values are determined.
(FR)La présente invention concerne un procédé de génération de données, un dispositif ainsi qu’un programme de génération de données de dessin utilisé pour dessiner toutes les données de figures de conception générales avec une précision de l’ordre de 1 à 4 nm par rapport aux procédés et dispositifs de dessin pour dessiner un motif d’un réseau en deux dimensions avec un projecteur qui peut être régulé par niveau. Le procédé de génération de données est utilisé pour un appareil d’exposition ayant une fonction de projection de projecteurs pouvant être régulés à plusieurs niveaux sur le film photosensible sur un substrat dans un réseau à deux dimensions. Dans le procédé, la valeurs de gradation des projecteurs sont générées selon les données de figures de conception. Les données de référence décrivant les combinaisons des valeurs de gradation sur la base du rapport positionnel entre le contour de la figure et le projecteur pour chaque caractéristique de contour de la figure sont préparées précédemment. La caractéristique du contour dans les données de figure de conception proche de la position de chaque projecteur est évaluée, une combinaison des valeurs de gradation dans les données de référence. La caractéristique de contour dans les données de figure de conception proche de la position de chaque projecteur est évaluée, une combinaison des valeurs de gradation dans les données de référence correspondant au rapport positionnel est sélectionnée, et les valeurs de gradation sont déterminées.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)