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1. (WO2006109562) 成膜装置および成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/109562    国際出願番号:    PCT/JP2006/306276
国際公開日: 19.10.2006 国際出願日: 28.03.2006
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
出願人: TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Katahira 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KABUSHIKI KAISHA TOYOTA JIDOSHOKKI [JP/JP]; 2-1, Toyoda-cho, Kariya-shi, Aichi 4488671 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUOKA, Takaaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAYAMA, Shozo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ITO, Hironori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHMI, Tadahiro; (JP).
MATSUOKA, Takaaki; (JP).
NAKAYAMA, Shozo; (JP).
ITO, Hironori; (JP)
代理人: IKEDA, Noriyasu; The Third Mori Building 4-10, Nishishinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 105-0003 (JP)
優先権情報:
2005-110760 07.04.2005 JP
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR FILM FORMATION AND METHOD FOR FILM FORMATION
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION DE COUCHES ET PROCÉDÉ POUR LA FORMATION DE COUCHES
(JA) 成膜装置および成膜方法
要約: front page image
(EN)This invention provides an apparatus for film formation, comprising a blowout vessel having a construction for blowing out an organic EL molecular gas. The apparatus comprises a plurality of organic EL material vessels and a piping system for connecting the plurality of organic EL material vessels to the blowout vessel. The plurality of organic EL material vessels constructed so as to be selectively brought to an organic EL molecule feed state. The piping system is constructed so that the transport gas is fed into each organic EL material vessel in such a manner that the pressure during film formation and the pressure during non-film formation are equal to each other. During non-film formation, the transport gas is allowed to flow from one of the organic EL material vessels to other material vessel.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de formation de couches, comprenant un récipient de soufflage présentant une construction permettant le soufflage d’un gaz moléculaire électroluminescent organique. Le dispositif comprend une pluralité de récipients de matériaux électroluminescents organiques et un système de tuyauterie pour connecter la pluralité de récipients de matériaux électroluminescents organiques au récipient de soufflage. La pluralité de récipients de matériaux électroluminescents organiques est construite de façon à être amenée sélectivement à un état d’alimentation en molécules électroluminescentes organiques. Le système de tuyauterie est construit de sorte que le gaz de transport est alimenté à chaque récipient de matériau électroluminescent organique de telle manière que la pression durant la formation de couche et la pression durant la non-formation de couche sont égales l’une à l’autre. Durant la non-formation de couche, le gaz de transport peut circuler d’un récipient de matériau électroluminescent organique à un autre récipient de matériau.
(JA) 吹き出し容器に有機EL分子ガスを吹き出す構成を備えた成膜装置において、複数の有機EL原料容器と、複数の有機EL原料容器と吹き出し容器とを接続する配管系を有し、複数の有機EL原料容器は選択的に有機EL分子供給状態となり、当該配管系は、各有機EL原料容器内に、成膜時と非成膜時において同じ圧力となるように、輸送ガスを供給するように構成されている。非成膜時、輸送ガスは有機EL原料容器の一つから他の原料容器に流される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)