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1. (WO2006106945) マイクロ波発生装置及びマイクロ波発生方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/106945    国際出願番号:    PCT/JP2006/306895
国際公開日: 12.10.2006 国際出願日: 31.03.2006
予備審査請求日:    05.02.2007    
IPC:
H03B 28/00 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01), H05B 6/66 (2006.01), H05H 1/00 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KASAI, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KASAI, Shigeru; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2005-107953 04.04.2005 JP
発明の名称: (EN) MICROWAVE GENERATING APPARATUS AND MICROWAVE GENERATING METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE GENERATION DE MICRO-ONDES
(JA) マイクロ波発生装置及びマイクロ波発生方法
要約: front page image
(EN)A microwave generating apparatus is provided with a switch signal generating section for generating a square wave switch signal having a fundamental frequency of a microwave band; a switching power amplifying section for performing switching power amplification based on the switch signal and outputting an amplification signal; a variable voltage supplying section for variably supplying the switching power amplifying section with a drive voltage for amplification; a microwave selecting section for taking out a sinusoidal signal having the same frequency as the fundamental frequency of the switch signal, from the amplification signal, and outputting the sinusoidal signal as microwave; an output signal detecting section for detecting the microwave; and a drive voltage control section for controlling the variable voltage supplying section based on the detection results of the output signal detecting section.
(FR)La présente invention concerne un appareil de génération de micro-ondes muni d'une section de génération de signal de commutation afin de générer un signal de commutation d'onde carrée ayant une fréquence fondamentale d'une bande de micro-ondes, une section d'amplification de la puissance de commutation pour procéder à l'amplification de la puissance de commutation en fonction du signal de commutation et de la production d'un signal d'amplification de signal, une section de fourniture de tension variable pour fournir, de manière variable, à la section d'amplification de puissance de commutation une tension directrice à des fins d'amplification, une section de sélection de micro-ondes permettant d'extraire un signal sinusoïdal ayant la même fréquence que la fréquence fondamentale du signal de commutation, à partir du signal d'amplification, et la sortie du signal sinusoïdal comme micro-onde, une section de détection de signal de sortie pour détecter la micro-onde, enfin une section de contrôle de la tension de commande pour contrôler la section de fourniture de tension variable en fonction des résultats de détection de la section de détection du signal de sortie.
(JA) 本発明は、マイクロ波帯域の基本周波数を有する方形波状のスイッチ信号を発生するスイッチ信号発生部と、前記スイッチ信号に基づいてスイッチング電力増幅を行って増幅信号を出力するスイッチング電力増幅部と、前記スイッチング電力増幅部に増幅用の駆動電圧を可変的に供給することができる可変電圧供給部と、前記増幅信号から前記スイッチ信号の基本周波数と同じ周波数の正弦波信号を取り出してマイクロ波として出力するためのマイクロ波選択部と、前記マイクロ波を検出する出力信号検出部と、前記出力信号検出部の検出結果に基づいて前記可変電圧供給部を制御する駆動電圧制御部と、を備えたことを特徴とするマイクロ波発生装置である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)