WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2006106739) 半導体加速度センサ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/106739    国際出願番号:    PCT/JP2006/306481
国際公開日: 12.10.2006 国際出願日: 29.03.2006
IPC:
G01P 15/12 (2006.01), G01P 15/18 (2013.01), H01L 29/84 (2006.01)
出願人: THE YOKOHAMA RUBBER CO., LTD. [JP/JP]; 36-11, Shimbashi 5-chome, Minato-ku Tokyo 1058685 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HATTORI, Yutaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HATANO, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HATTORI, Yutaka; (JP).
HATANO, Yasuo; (JP)
代理人: YOSHIDA, Kiyotaka; Meiwa Bldg. 15-10, Toranomon 1-chome Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2005-097901 30.03.2005 JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR
(FR) CAPTEUR D'ACCELERATION A SEMI-CONDUCTEURS
(JA) 半導体加速度センサ
要約: front page image
(EN)There is provided a semiconductor acceleration sensor capable of detecting accelerations in two direction parallel to a surface of a diaphragm and orthogonally intersecting each other with appropriate sensitivity. The semiconductor acceleration sensor (10) includes diaphragm pieces (13a to 13d) extending from the center of the surface of the diaphragm along X-axis and Y-axis orthogonally intersecting each other to the wafer outer frame portion (12a). Piezoresistors (Rx1 to Rx4, Ry1 to Ry4, Rz1 to Rz4) are formed thereon. In the diaphragm piece (13a) and the diaphragm piece (13b) arranged on a straight line along the X-axis and the diaphragm piece (13c) and the diaphragm piece (13d) arranged on a straight line along the Y-axis, the areas of the cross section orthogonal to the axes are respectively set in accordance with the maximum value of the acceleration in the X-axis direction or the Y-axis direction.
(FR)La présente invention décrit un capteur d'accélération à semi-conducteurs capable de détecter des accélérations dans deux directions parallèles à une surface d'un diaphragme et se croisant l'une l'autre au plan orthogonal avec une sensibilité appropriée. Le capteur d'accélération à semi-conducteurs (10) comprend des éléments de diaphragme (13a à 13d) se prolongeant depuis le centre de la surface du diaphragme, le long d'un axe X et d'un axe Y et se croisant l'une l'autre au plan orthogonal sur la partie de cadre extérieur de la tranche (12a). Des piézorésistances (Rx1 à Rx4, Ry1 à Ry4, Rz1 à Rz4) sont formées dessus. Dans les parties de diaphragme (13a, 13b) placées sur une ligne droite le long de l'axe X et les parties de diaphragme (13c, 13d) placées sur une ligne droite le long de l'axe Y, les zones de la section transversale orthogonale aux axes sont respectivement paramétrées conformément à la valeur maximum de l'accélération dans la direction de l'axe X ou dans la direction de l'axe Y.
(JA) ダイアフラムの面に平行で互いに直交する2方向における加速度をそれぞれ適切な感度で検出することができる半導体加速度センサを提供することである。  ダイアフラムの面の中心から互いに直交するX軸方向及びY軸方向に沿って、ウェハ外周枠部12aへそれぞれ延びている各ダイアフラム片13a~13dからなり、その上面にピエゾ抵抗体Rx1~Rx4,Ry1~Ry4,Rz1~Rz4が形成されている半導体加速度センサ10を構成する。X軸方向に沿って一直線上に配置されたダイアフラム片13a及びダイアフラム片13bと、Y軸方向に沿って一直線上に配置されたダイアフラム片13c及びダイアフラム片13dにおいて、その軸に直交する断面の面積がそれぞれX軸方向又はY軸方向の加速度の最大値にあわせて設定されている。                                                                         
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)