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World Intellectual Property Organization
1. (WO2006104193) 非点収差の調整方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/104193    国際出願番号:    PCT/JP2006/306464
国際公開日: 05.10.2006 国際出願日: 29.03.2006
予備審査請求日:    29.01.2007    
G11B 7/135 (2012.01), G11B 7/22 (2006.01)
出願人: PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku, Tokyo 1538654 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HOSOYAMADA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJINOKI, Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HOSOYAMADA, Hiroshi; (JP).
FUJINOKI, Shinichi; (JP)
代理人: EGAMI, Tatsuo; c/o Tokyo Central Patent Firm 3rd Floor, Oak Building Kyobashi 16-10, Kyobashi 1-chome, Chuou-ku Tokyo 1040031 (JP)
2005-094576 29.03.2005 JP
(JA) 非点収差の調整方法
要約: front page image
(EN)The second electrode (107d) of an abberation correcting element (107) is arranged with total eight electrode patterns of patterns (1, 3, 5, 7) in ring band shape. Astigmatism is corrected depending on a voltage being applied to each pattern. When astigmatism is adjusted, it is decomposed into astigmatism components in first direction group and second direction group. For each decomposed component, a voltage applied to each pattern is determined as a displacement with respect to a reference voltage. Two orthogonal axes defining respective direction groups are respectively associated with total four patterns of two types being bordered by them, and the applying voltage is determined such that respective displacements have an equal absolute value and different signs. Final voltage applied to each pattern is calculated by mutually adding, for each pattern, the displacements obtained for respective direction groups.
(FR)Selon l’invention on dispose la seconde électrode (107d) d’un élément de correction d’aberration (107) avec un total de huit motifs d’électrode selon les motifs (1, 3, 5, 7) en forme de bandeau annulaire. On corrige l’astigmatisme en fonction d’une tension appliquée à chaque motif. Lors du réglage de l’astigmatisme, on décompose celui-ci en composantes d’astigmatisme dans un premier groupe de direction et un second groupe de direction. Pour chaque composante décomposée, on détermine une tension appliquée à chaque motif comme déplacement par rapport à une tension de référence. Deux axes orthogonaux définissant des groupes de direction respectifs sont associés respectivement avec un total de quatre motifs de deux types qu’ils bordent, et l’on détermine la tension d’application pour que les déplacements respectifs aient une valeur absolue égale et des signes différents. On calcule la tension finale appliquée à chaque motif par addition mutuelle, pour chaque motif, des déplacements obtenus pour des groupes de direction respectifs.
(JA) 収差補正素子(107)における第2電極(107d)にはパターン1、3、5及び7の計8個の電極パターンが輪帯状に配列して形成されている。非点収差は各パターンに印加される電圧に応じて補正される。非点収差が調整される際、非点収差が第1方向群及び第2方向群の非点収差に成分分解される。成分分解された非点収差各々について、各パターンの印加電圧が、基準電圧に対する変位として決定される。この際、各方向群を規定する相互に直交する2軸には、これらによって境界が規定される2種類計4個のパターンが夫々対応付けられ、夫々変位の絶対値が等しく符号が異なるように印加電圧が決定される。これら各パターンの最終的な印加電圧は、これら各方向群について得られた変位を各パターンについて相互に加算することによって算出される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)