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1. (WO2006104121) 半導体製造装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/104121    国際出願番号:    PCT/JP2006/306220
国際公開日: 05.10.2006 国際出願日: 28.03.2006
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
出願人: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-20, Higashi-Nakano 3-chome, Nakano-ku, Tokyo 1648511 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMAGISHI, Norichika [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HISAKADO, Sadao [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMAGISHI, Norichika; (JP).
HISAKADO, Sadao; (JP)
代理人: KAJIWARA, Tatuya; I-201, Central Nishi-Shinjuku 9-5, Nishi-Shinjuku 8-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
優先権情報:
2005-095129 29.03.2005 JP
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PRODUCTION A SEMI-CONDUCTEURS
(JA) 半導体製造装置
要約: front page image
(EN)A semiconductor production apparatus has a substrate conveyor for conveying a substrate, a substrate detection section having a light emission section for emitting light to the substrate and a light reception section for receiving the light in order to detect the substrate conveyed from the substrate conveyor, and a controller for receiving the data of the quantity of light received from the light reception section. The controller previously registers ranges of light quantity, which ranges are not superposed on each other, and, when the light emitted from the light emitting section reaches the light receiving section through the substrate, the controller determines to which one of the registered ranges of light quantity the quantity of the received light corresponds, and outputs an instruction depending on the range determined.
(FR)La présente invention décrit un appareil de production à semi-conducteurs qui possède un transporteur de substrats pour transporter un substrat, une section de détection de substrats disposant d'une section électroluminescente pour émettre de la lumière sur le substrat et une section de réception de la lumière pour recevoir la lumière afin de détecter le substrat transporté par le transporteur de substrats, enfin un contrôleur pour recevoir des données sur la quantité de lumière reçue par la section de réception de lumière. Le contrôleur enregistre préalablement des plages de quantités de lumière, lesquelles ne sont pas superposées les unes sur les autres et, lorsque la lumière émise par la section électroluminescente atteint la section de réception de lumière via le substrat, le contrôleur détermine celle des plages de quantités de lumière enregistrées à laquelle correspond la quantité de lumière reçue et produit une instruction en fonction de la plage déterminée.
(JA) 半導体製造装置は、基板を搬送する基板搬送装置と、前記基板搬送装置から搬送されて来た前記基板を検出するために、前記基板へ光を発光する発光部および前記光を受光する受光部を有する基板検出部と、前記受光部からの受光量データを受け取るコントローラと、を備えており、前記コントローラは、互いに重ならない複数の光量範囲を予め登録しておき、前記発光部から発光された光が前記基板を介して前記受光部に到達した場合には、その受光した受光量が予め登録された前記光量範囲のいずれであるかを判定し、判定された前記光量範囲に応じた命令を出力する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)