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1. (WO2006104056) プラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置及びドロップレット除去方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/104056    国際出願番号:    PCT/JP2006/306007
国際公開日: 05.10.2006 国際出願日: 24.03.2006
IPC:
C23C 14/32 (2006.01)
出願人: Ferrotec Corporation [JP/JP]; 4-14, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOYOHASHI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 1-1, Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi-city, Aichi 4418580 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIINA, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKIKAWA, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIINA, Yuichi; (JP).
TAKIKAWA, Hirofumi; (JP)
代理人: MIKI, Hisami; Haim-Senba 303 3-8, Kyutaromachi 2-chome Chuo-ku, Osaka-city Osaka 5410056 (JP)
優先権情報:
2005-091107 28.03.2005 JP
発明の名称: (EN) DROPLET REMOVAL DEVICE AND DROPLET REMOVAL METHOD IN PLASMA GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE D’ELIMINATION DE GOUTTELETTES POUR GENERATEUR DE PLASMA
(JA) プラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置及びドロップレット除去方法
要約: front page image
(EN)There are provided a droplet removal device in a plasma generation device capable of surely removing droplets from a mixture of plasma and droplets generated in a plasma generation device. The droplet removal device is used in a plasma generation device performing vacuum arc discharge to generate plasma and including: a cylindrical advance path along which the plasma and droplet-mixed plasma generated as a byproduct from a cathode when the plasma is generated advance; and at least one rotary magnetic field application means for generating a rotary magnetic field in the cross-sectional circumferential direction of the cylindrical advance path. The rotary magnetic field application means applies a rotary magnetic field to the droplet-mixed plasma so that the droplet-mixed plasma advances along the cylindrical advance path while being rotated so as to remove the droplets by the centrifugal force.
(FR)L’invention concerne un dispositif d’élimination de gouttelettes dans un générateur de plasma, capable d’éliminer de façon certaine les gouttelettes d’un mélange de plasma et de gouttelettes généré dans un générateur de plasma. Le dispositif d’élimination de gouttelettes est utilisé dans un générateur de plasma générant du plasma par décharge d'arc sous vide et comprenant : un passage cylindrique le long duquel avancent le plasma et du plasma mélangé à des gouttelettes généré en tant que sous-produit par la cathode ; et au moins un moyen d’application de champ magnétique rotatif destiné à générer un champ magnétique rotatif dans le sens circonférentiel transversal du passage cylindrique. Le moyen d’application de champ magnétique rotatif applique un champ magnétique rotatif au plasma mélangé à des gouttelettes de sorte que ledit plasma mélangé à des gouttelettes avance le long du passage cylindrique tout en étant soumis à une rotation afin d’éliminer les gouttelettes sous l’effet de la force centrifuge.
(JA) プラズマ生成装置において生成されるプラズマとドロップレットとの混合状態からドロップレットを確実に除去することができるプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置を提供することである。  真空アーク放電を行ってプラズマを発生させ、このプラズマとプラズマの発生時に陰極から副生するドロップレットとの混合状態であるドロップレット混合プラズマが進行する筒状進行路が設けられ、この筒状進行路の断面周方向に回転磁場を発生させる回転磁場印加手段が少なくとも1つ以上設けられ、この回転磁場印加手段により前記ドロップレット混合プラズマに回転磁場を印加し、前記ドロップレット混合プラズマを回転させながら前記筒状進行路を進行させて前記ドロップレットを遠心力により除去するプラズマ生成装置におけるドロップレット除去装置である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)