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1. (WO2006093130) 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/093130    国際出願番号:    PCT/JP2006/303719
国際公開日: 08.09.2006 国際出願日: 28.02.2006
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
出願人: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 9-11, Kitashinagawa 5-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1418686 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWACHI, Shunichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJIKAWA, Masayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWACHI, Shunichi; (JP).
FUJIKAWA, Masayuki; (JP)
代理人: HASEGAWA, Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM Ginza First Bldg. 10-6, Ginza 1-chome Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
優先権情報:
2005-059319 03.03.2005 JP
2005-138859 11.05.2005 JP
発明の名称: (EN) UNIT FOR LEVITATING OBJECT TO BE CONVEYED, DEVICE FOR LEVITATING OBJECT TO BE CONVEYED, AND STAGE DEVICE
(FR) UNITÉ DESTINÉE À FAIRE LÉVITER UN OBJET À TRANSPORTER, DISPOSITIF DE LÉVITATION D’OBJET À TRANSPORTER ET DISPOSITIF À ÉTAGES
(JA) 搬送物浮上ユニット、搬送物浮上装置、及びステージ装置
要約: front page image
(EN)A unit (50) for levitating an object to be conveyed, having a blow flow path (66) for blowing air from a blow hole (54), and a suction flow path (64) for sucking air from a suction opening (56) provided on the upper surface (52) side. The blow flow path (66) has large flow paths (70) and small flow paths (68), having different flow path cross-sections, and as a result, the blow flow path (66) has portions where a flow path cross-section discontinuously varies. Rigidity of a glass substrate when held as the object to be conveyed can be enhanced by causing pressure loss to occur at the portions where the flow path cross-section varies.
(FR)La présente invention concerne une unité (50) destinée à faire léviter un objet à transporter ayant une voie de passage par soufflage (66) destinée à souffler de l’air depuis un trou de soufflage (54) et une voie de passage par aspiration (64) destinée à aspirer de l’air depuis une ouverture d’aspiration (56) prévue sur le côté de surface supérieure (52). La voie de passage par soufflage (66) a des voies de passage de grande taille (70) et des voies de passage de petite taille (68) ayant différentes sections transversales de voie de passage et la voie de passage par soufflage (66) a donc des parties dans lesquelles la section transversale de voie de passage varie de façon discontinue. La rigidité d’un substrat de verre servant d’objet à transporter peut être améliorée en provoquant des chutes de pression sur les parties sur lesquelles la section transversale de la voie de passage varie.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)