(EN) A method for fabricating a piezoelectric element capable of ensuring high piezoelectric characteristics by preventing generation of unnecessary electric field in a piezoelectric thin film layer during the fabrication process. The method for fabricating a piezoelectric element comprises a first step for depositing a lower electrode layer, a piezoelectric thin film layer and an upper electrode layer sequentially on a substrate, a second step for performing etching including dry etching, a third step for performing polarization by applying a voltage between the lower electrode layer and the upper electrode layer, and a fourth step for segmenting into individual piezoelectric elements wherein the lower electrode layer and the upper electrode layer are held in short circuit state at least when dry etching is performed.
(FR) L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un élément piézoélectrique capable d'assurer des caractéristiques piézoélectriques élevées en évitant la génération d'un champ électrique inutile dans une couche de film mince piézoélectrique durant la fabrication. Le procédé de fabrication d'un élément piézoélectrique comprend une première étape de dépôt séquentiel sur un substrat d'une couche d'électrode inférieure, d'une couche de film mince piézoélectrique et d'une couche d'électrode supérieure, une deuxième étape de gravure, la gravure incluant une gravure sèche, une troisième étape de polarisation par l'application d'une tension entre la couche d'électrode inférieure et la couche d'électrode supérieure et une quatrième étape de segmentation en éléments piézoélectriques individuels, la couche électrode inférieure et la couche électrode supérieure étant mises en court-circuit au moins pendant la réalisation de la gravure sèche.
(JA) 製造工程の途中における圧電薄膜層への不要な電界の発生を防止することにより高い圧電特性を確保することができる圧電素子の製造方法が開示されていて、この圧電素子の製造方法は、基板の上に下部電極層、圧電薄膜層および上部電極層を順次積層する第１の工程と、エッチングにドライエッチングを含んでエッチング処理する第２の工程と、下部電極層と上部電極層との間に電圧を印加して分極処理する第３の工程と、それぞれの圧電素子に個片化処理する第４の工程と、を含む圧電素子の製造方法であって、少なくともドライエッチングを行うときに下部電極層と上部電極層とを短絡保持する。
