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1. (WO2006077840) トレンチ埋め込み方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/077840    国際出願番号:    PCT/JP2006/300565
国際公開日: 27.07.2006 国際出願日: 11.01.2006
IPC:
H01L 21/3205 (2006.01), H01L 21/288 (2006.01)
出願人: JSR CORPORATION [JP/JP]; 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAKAI, Tatsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUKI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAKAI, Tatsuya; (JP).
MATSUKI, Yasuo; (JP)
代理人: OHSHIMA, Masataka; Ohshima Patent Office BN Gyoen Building 17-11, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2005-011690 19.01.2005 JP
発明の名称: (EN) TRENCH FILLING METHOD
(FR) PROCEDE DE REMPLISSAGE DE TRANCHEE
(JA) トレンチ埋め込み方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a method for filling a trench with aluminum wherein a trench filling composition composed of a complex of an amine compound and a hydrogenated aluminum and an organic solvent is applied to a substrate having a trench and then the substrate is heated and/or irradiated with light, thereby converting the complex into aluminum in the trench. With this method, the filling performance can be good even when a fine trench of complicated pattern is filled with aluminum. This method can be easily applied to a large substrate, while being performed at low cost.
(FR)La présente invention décrit un procédé de remplissage de tranchée avec de l'aluminium, selon lequel une composition de remplissage de tranchée, composée d'un complexe d'un composé amine et d'un aluminium hydrogéné et d'un solvant organique est appliquée sur un substrat comportant une tranchée; le substrat est ensuite chauffé et/ou irradié avec de la lumière, ce qui convertit le complexe en aluminium dans la tranchée. Une bonne performance de remplissage peut être obtenue par ce procédé, même lors du remplissage d'une tranchée fine de forme complexe. Ce procédé peut être facilement appliqué à faible coût sur un grand substrat.
(JA)トレンチを有する基体上に、アミン化合物と水素化アルミニウムとの錯体及び有機溶媒からなるトレンチ埋め込み用組成物を塗布し、次いで加熱及び/又は光照射して前記トレンチ内で上記錯体をアルミニウムに変換することにより、前記トレンチ内にアルミニウムを埋め込む方法。この方法によれば、微細、複雑なパターンのトレンチにアルミニウムを埋め込む場合においても、埋め込み性が良好であり、大きな基体への適用も容易である。この方法は低コストで実施できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)