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1. (WO2006077722) 型加熱装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/077722    国際出願番号:    PCT/JP2005/023883
国際公開日: 27.07.2006 国際出願日: 27.12.2005
IPC:
B29C 33/02 (2006.01), B29C 35/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H05B 6/10 (2006.01)
出願人: KOYO THERMO SYSTEMS CO., LTD. [JP/JP]; 229, Kabata-cho Tenri-shi, Nara 6320084 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUSUURA, Takahisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANAI, Akihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIBASHI, Tomoyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJIYAMA, Norihide [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KUSUURA, Takahisa; (JP).
KANAI, Akihiko; (JP).
ISHIBASHI, Tomoyuki; (JP).
FUJIYAMA, Norihide; (JP)
代理人: HIBI, Norihiko; c/o KISHIMOTO & CO. 3rd Floor, Inaba Building 13-18, Nishishinsaibashi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5420086 (JP)
優先権情報:
2005-012379 20.01.2005 JP
発明の名称: (EN) DIE HEATING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE CHAUFFAGE DE BUSE
(JA) 型加熱装置
要約: front page image
(EN)A die is heated to a high temperature at a high speed, and further, is cooled at a high speed. A die heating apparatus is provided for heating the die (100) which performs nano-imprinting of a superfine pattern on an object to be processed. The die heating apparatus is provided with a die holding section (2) which holds the die (100) and transfers heat to the die (100), and an IH heater (8) for heating the die holding section (2). At least a part of the die holding section (2) is formed of a material having a relative magnetic permeability of 0.99 or more and an electrical resistivity of 1µΩ·cm or more.
(FR)Selon la présente invention, une buse est chauffée à une température élevée à une vitesse élevée et, en outre, est refroidie à une vitesse élevée. Un appareil de chauffage de buse est proposé pour chauffer la buse (100) qui effectue une nano-impression d’un motif extrêmement fin sur un objet à traiter. L’appareil de chauffage de buse est équipé d’une partie de support de buse (2) qui tient la buse (100) et transfère la chaleur vers la buse (100), ainsi que d’un élément chauffant IH (8) destiné à chauffer la partie de support de buse (2). Au moins une partie de la partie de support de buse (2) est formée d’un matériau ayant une perméabilité magnétique relative de 0,99 ou plus et une résistivité électrique de 1 µ&·cm ou plus.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)