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1. (WO2006075575) ステージ装置及び露光装置

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/075575    国際出願番号:    PCT/JP2006/300143
国際公開日: 20.07.2006 国際出願日: 10.01.2006
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TANAKA, Keiichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TANAKA, Keiichi; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
2005-003779 11.01.2005 JP
(JA) ステージ装置及び露光装置
要約: front page image
(EN)When a stage (WST) whereupon a wafer (W) is placed is driven in an X axis direction by a linear motor, a reaction force of the driving force is generated to a stator and is operated to counter weights (44A, 44B) through the stator. Then, the counter weights move in an opposite direction to the stage, in accordance with the movement of the stage in the X axis direction. Therefore, the reaction force generated by driving of the stage can be substantially cancelled by the movement of the counter weights. Since the counter weight is provided with a first portion (52) connected to the first stator, and a second portion (54), which is separated from the first portion in the X axis direction and is connected with the first portion through a connecting section (55), a partition wall of a chamber (45) can be arranged by having the connecting portion as a boundary, and the second portion of the counter weight can be positioned outside the partition wall. Thus, a stage storing space can be set small.
(FR)Dans le cadre de la présente invention, lorsqu'un étage (WST) sur lequel est placée une tranche (W) est entraîné dans une direction d'axe X par un moteur linéaire, une force de réaction de la force d'entraînement est générée vers un stator et est appliquée sur des contrepoids (44A, 44B) à travers le stator. Alors, les contrepoids se déplacent dans une direction opposée à l'étage, conformément au mouvement de l'étage dans la direction d'axe X. Donc, la force de réaction générée par l'entraînement de l'étage peut être sensiblement annulée par le mouvement des contrepoids. Du fait que le contrepoids est pourvu d'une première partie (52) reliée au premier stator et d'une seconde partie (54), qui est séparée de la première partie dans la direction d'axe X et est reliée à la première partie par l'intermédiaire d'une section de liaison (55), une paroi de séparation d'une chambre (45) peut être conçue de manière que la partie de liaison fasse office de limite, et la seconde partie du contrepoids peut être positionnée à l'extérieur de la paroi de séparation. Ainsi, un petit espace de stockage d'étage peut être créé.
(JA) リニアモータにより、ウエハ(W)が載置されたステージ(WST)がX軸方向に駆動されると、その駆動力の反力が固定子に生じ、該固定子を介してカウンタウエイト(44A,44B)に作用し、該カウンタウエイトが、ステージのX軸方向の移動に応じてステージとは反対方向に移動する。従って、このカウンタウエイトの移動によりステージの駆動による生じる反力をほぼキャンセルすることができる。また、カウンタウエイトは、第1固定子と接続された第1部分(52)と、この第1部分からX軸方向に関して分離され、接続部(55)を介して接続された第2部分(54)とを有していることから、その接続部分を境界としてチャンバ(45)の隔壁を配置し、カウンタウエイトの第2部分を、隔壁の外側に位置させることができる。これにより、ステージ収容スペースを小さく設定することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)