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1. (WO2006075570) プラズマ発生装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/075570    国際出願番号:    PCT/JP2006/300128
国際公開日: 20.07.2006 国際出願日: 10.01.2006
IPC:
H05H 1/24 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/302 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: National University Corporation Nagoya University [JP/JP]; 1, Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya-shi, Aichi 4648601 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NU Eco Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; 1237-87, Aza Umazutsumi, Oaza Kurozasa, Miyoshi-cho, Nishikamo-gun Aichi 4700201 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HORI, Masaru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HORI, Masaru; (JP).
KANO, Hiroyuki; (JP)
代理人: FUJITANI, Osamu; Marunouchi KS Bldg. 16F, 18-25, Marunouchi 2-chome Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600002 (JP)
優先権情報:
2005-003615 11.01.2005 JP
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATING APPARATUS
(FR) APPAREIL GENERANT DU PLASMA
(JA) プラズマ発生装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To efficiently irradiate a region having a discretionary shape with plasma. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Electrodes (10A, 10B) are provided with a series of groove sections (11) on facing planes, respectively. An opening section (101) is formed by combining the electrodes (10A, 10B) and a jig (20) composed of an insulating material having a gas flow path (201) for generating plasma. Thus, when an alternating potential is applied to the electrodes (10A, 10B), hollow cathode plasma is generated in a groove section (11) of the electrode on a cathode side, and the plasma is applied on an object to be processed at an upper part in the drawing, with a flow of the gas for generating plasma. The region having a discretionary shape is efficiently irradiated with plasma by designing a region where the electrodes (10A, 10B) face each other, namely a shape of the opening section (101).
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de cette invention concerne l'irradiation efficace avec du plasma d'une région ayant une forme discrétionnaire. La solution proposée consiste à doter des électrodes (10A, 10B) respectivement d'une série de rainures (11) sur des plans se faisant face. On forme une partie d'ouverture (101) en combinant les électrodes (10A, 10B) et un gabarit (20) composé d'un matériau isolant comportant un trajet d'écoulement de gaz (201) pour générer du plasma. Ainsi, lorsqu'on applique un potentiel alternatif sur les électrodes (10A, 10B), un plasma à cathode creuse est généré dans une rainure (11) de l'électrode sur un côté formant cathode et le plasma est appliqué sur un objet devant être traité situé en haut du dessin, avec un flux du gaz devant générer le plasma. On irradie efficacement la région ayant une forme discrétionnaire avec du plasma en concevant une région où les électrodes (10A, 10B) se font mutuellement face, à savoir, une forme de la partie d'ouverture (101).
(JA)【課題】任意形状の領域に効率良くプラズマを照射すること。 【解決手段】電極10A及び10Bは、互いに対峙する面に各々一連の溝部11を有する。電極10A及び10Bと、プラズマを発生させるガスの流路201を有する絶縁物から成る治具20とを組み合わせて開口部101を形成する。こうして電極10A及び10Bに交流電位を印加すると、陰極側となった電極の溝部11にホローカソードプラズマが発生し、プラズマを発生させるガスの流れと共に図面上方に位置する被加工物に照射される。電極10A及び10Bの対峙する領域、即ちの開口部101の形状を設計することで、任意形状の領域に効率良くプラズマを照射することが可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)