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1. (WO2006075401) 蒸発源及び蒸着装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/075401    国際出願番号:    PCT/JP2005/000485
国際公開日: 20.07.2006 国際出願日: 17.01.2005
予備審査請求日:    06.06.2005    
IPC:
C23C 14/24 (2006.01)
出願人: YOUTEC CO., LTD. [JP/JP]; 956-1, Nishi-hirai Nagareyama-shi, Chiba 2700156 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ABE, Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUZUKI, Mitsuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HONDA, Yuuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ABE, Koji; (JP).
SUZUKI, Mitsuhiro; (JP).
HONDA, Yuuji; (JP)
代理人: YANASE, Mutsuyasu; Patent Attorneys Shinpo 1-20-10-203, Takadanobaba Shinjuku-ku, Tokyo 1690075 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) EVAPORATION SOURCE AND VAPOR DEPOSITION APPARATUS
(FR) SOURCE D’EVAPORATION ET APPAREIL DE DEPOT EN PHASE VAPEUR
(JA) 蒸発源及び蒸着装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an evaporation source and a vapor deposition apparatus which can inhibit the emission of an evaporation material being easy to bump to the outside. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An evaporation source, characterized in that it is equipped with a container (102) for holding an evaporation material or a sublimation material, an opening (106a) being arranged at an upper portion of the above container and controlling the amount of the material having been evaporated or sublimed in the container to be emitted to the outside of said container, a bumped material shielding plate (108) for preventing a bumped material from an evaporation material or a sublimation material in the above container from being emitted to the outside of said container, and a heater (105) for heating the above bumped material shielding plate.
(FR)L’invention concerne une source d’évaporation et un appareil de dépôt en phase vapeur permettant d’éviter l’échappement vers l’extérieur d’une substance à évaporer facile à expulser. La source d’évaporation est caractérisée en ce qu’elle est dotée d’un réceptacle (102) contenant une substance à évaporer ou une substance à sublimer, d’une ouverture (106a) disposée au niveau d’une partie supérieure du réceptacle et régulant la quantité de la substance dans la réceptacle qui s’est évaporée ou sublimée vers l’extérieur du réceptacle, d’une plaque de blindage pour substance expulsée (108) servant à éviter l’échappement vers l’extérieur du réceptacle d’une substance expulsée issue d’une substance à évaporer ou d’une substance à sublimer contenue dans le réceptacle, et d’un élément chauffant (105) servant à chauffer la plaque de blindage pour substance expulsée.
(JA)【課題】 突沸しやすい蒸発材料が外部に放出されることを抑制できる蒸発源及び蒸着装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る蒸発源は、蒸発材料又は昇華材料が収容される容器102と、前記容器の上部に配置され、該容器内で蒸発又は昇華した材料が該容器外に放出される量を制御する開口部106aと、前記開口部の下に配置され、前記容器内の蒸発材料又は昇華材料が突沸した突沸物が該容器外に放出されるのを遮蔽する突沸物遮蔽板108と、前記突沸物遮蔽板を加熱するヒータ105とを具備することを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)