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1. (WO2006073189) 機能素子及び酸化物材料形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/073189    国際出願番号:    PCT/JP2006/300102
国際公開日: 13.07.2006 国際出願日: 06.01.2006
IPC:
H01L 21/28 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/28 (2006.01), C30B 29/16 (2006.01), G02F 1/09 (2006.01), H01L 33/42 (2010.01)
出願人: Kanagawa Academy of Science and Technology [JP/JP]; 2-1, Sakado 3-chome, Takatsu-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2130012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOYODA GOSEI CO., LTD [JP/JP]; 1, Aza Nagahata, Oaza Ochiai, Haruhi-cho, Nishikasugai-gun, Aichi 452-8564 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HITOSUGI, Taro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FURUBAYASHI, Yutaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASEGAWA, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIROSE, Yasushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KASAI, Junpei [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORIYAMA, Miki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HITOSUGI, Taro; (JP).
FURUBAYASHI, Yutaka; (JP).
HASEGAWA, Tetsuya; (JP).
HIROSE, Yasushi; (JP).
KASAI, Junpei; (JP).
MORIYAMA, Miki; (JP)
代理人: TATEISHI, Takuya; Aarwer - International Intellectual Property Firm 5-23-12 Hon-cho Koganei-city Tokyo1840004 (JP)
優先権情報:
2005-029722 08.01.2005 JP
発明の名称: (EN) FUNCTIONAL DEVICE AND METHOD FOR FORMING OXIDE MATERIAL
(FR) DISPOSITIF FONCTIONNEL ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN MATERIAU D'OXYDE
(JA) 機能素子及び酸化物材料形成方法
要約: front page image
(EN)There have been demands on transparent electrode materials and magnetic materials having a wide range of applications. Disclosed are a novel functional device and a method for forming an oxide material for meeting such demands. Specifically disclosed is a functional device comprising an AlxGayInzN base (wherein 0 ≤ x ≤ 1, 0 ≤ y ≤ 1, 0 ≤ z ≤ 1) and an oxide material composed of a metal oxide which is formed on the AlxGayInzN base. This functional device is characterized in that the metal oxide is TiO2 or the like. In this functional device, a film which hardly reflects at the interface and has both chemical resistance and durability is integrally formed on a group III nitride having excellent physical and chemical properties.
(FR)Le besoin est bien réel de disposer de matériaux d'électrode transparents et de matériaux magnétiques ayant une large fourchette d'applications. L'invention divulgue un nouveau dispositif fonctionnel et un procédé de fabrication d'un matériau d'oxyde pour satisfaire à un tel besoin. Elle concerne spécifiquement un dispositif fonctionnel comprenant une base AlxGayInzN (où 0 = x = 1, 0 = y = 1, 0 = z = 1) et un matériau d'oxyde composé d'un oxyde de métal formé sur la base AlxGayInzN. Ce dispositif fonctionnel est caractérisé en ce que l'oxyde de métal est TiO2 ou équivalent. Dans ce dispositif fonctionnel, un film réfléchissant à peine au niveau de l'interface, avec à la fois une bonne résistance chimique et une bonne durabilité, est élaboré intégralement sur un nitrure de groupe III aux excellentes propriétés physiques et chimiques.
(JA)【課題】 適用範囲の大きい透明電極材料及び磁性材料等が期待されている。この状況に鑑み、新しい機能素子及び酸化物材料形成方法を提供する。 【解決手段】 AlxGayInzN(但し、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)と、前記AlxGayInzN上に形成され、金属酸化物からなる酸化物材料とを有し、前記金属酸化物は、TiO2等であることを特徴とする機能素子。本発明によれば、優れた物理的・化学的性質を備える3族窒化物上に、界面での反射が少なく、耐薬品性及び耐久性を兼ね備えた膜を一体形成して構成される機能素子が得られる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)