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1. (WO2006070748) メンテナンス方法、露光装置、メンテナンス部材
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/070748    国際出願番号:    PCT/JP2005/023796
国際公開日: 06.07.2006 国際出願日: 26.12.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-379341 28.12.2004 JP
発明の名称: (EN) MAINTENANCE METHOD, EXPOSURE DEVICE, AND MAINTENANCE MEMBER
(FR) PROCEDE DE MAINTENANCE, DISPOSITIF D’EXPOSITION ET ELEMENT DE MAINTENANCE
(JA) メンテナンス方法、露光装置、メンテナンス部材
要約: front page image
(EN)A maintenance method, an exposure device, and a maintenance member. In the method, the maintenance member (80) having a front surface (80A) and a rear surface (80B) is carried so that the front surface (80A) is brought into contact with a first holding part, and a substrate holder (PH) is driven in the non-pressed state of the maintenance member on the rear surface (80B) to slide the maintenance member (80) on the first holding part.
(FR)Procédé de maintenance, dispositif d’exposition et élément de maintenance. Dans le procédé, l’élément de maintenance (80) ayant une surface avant (80A) et une surface arrière (80B) est porté de sorte que la surface avant (80A) est mise en contact avec une première partie de maintien, et un support de substrat (PH) est entraîné dans l’état non pressé de l’élément de maintenance sur la surface arrière (80B) pour faire glisser l’élément de maintenance (80) sur la première partie de maintien.
(JA) 表面(80A)と裏面(80B)とを有したメンテナンス部材(80)を、その表面(80A)が第1保持部と接触するように搬送し、裏面(80B)を押圧しない状態で基板ホルダ(PH)を駆動してメンテナンス部材(80)を第1保持部上で滑らせる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)