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1. (WO2006070580) オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/070580    国際出願番号:    PCT/JP2005/022612
国際公開日: 06.07.2006 国際出願日: 09.12.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KITA, Naonori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KITA, Naonori; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg., 10, Kanda-tsukasacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
優先権情報:
2004-375854 27.12.2004 JP
発明の名称: (EN) OPTICAL INTEGRATOR, ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, PHOTOLITHOGRAPH, PHOTOLITHOGRAPHY, AND METHOD FOR FABRICATING DEVICE
(FR) INTEGRATEUR OPTIQUE, DISPOSITIF D'ECLAIRAGE OPTIQUE, DISPOSITIF PHOTOLITHOGRAPHIQUE, PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE
(JA) オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)An optical integrator having characteristics suppressing the influence of the relative positioning error of a pair of optical members on the illuminance distribution and the profile of the illuminated field. The wavefront splitting optical integrator (8) comprises a first optical member (8a) and a second optical integrator (8b) arranged sequentially from the light incident side. The first optical member has a plurality of first entrance surfaces (8aa) exhibiting a diffraction power in the first direction (Z direction) but not exhibiting any diffraction power in the second direction (X direction), and a plurality of first exit surfaces (8ab) exhibiting a diffraction power in the first direction but not exhibiting any diffraction power in the second direction. The second optical member has a plurality of second entrance surfaces (8ba) exhibiting a diffraction power in the second but not exhibiting any diffraction power in the first direction, and a plurality of second exit surfaces (8bb) exhibiting a diffraction power in the second direction but not exhibiting any diffraction power in the first direction.
(FR)La présente invention concerne un intégrateur optique dont les caractéristiques éliminent l'influence de l'erreur de positionnement relatif d'une paire d'éléments optiques sur la répartition de l'éclairement et le profil du champ éclairé. L'intégrateur optique de séparation de front d'ondes (8) comprend un premier élément optique (8a) et un second intégrateur optique (8b) disposés séquentiellement à partir du côté d'incidence de la lumière. Le premier élément optique a une pluralité de premières surfaces d'entrée (8aa) qui présentent un pouvoir de diffraction dans la première direction (direction Z) mais aucun dans la seconde (direction X), ainsi qu'une pluralité de premières surfaces de sortie (8ab) qui présentent un pouvoir de diffraction dans la première direction mais aucun dans la seconde. Le second élément optique a une pluralité de deuxièmes surfaces d'entrée (8ba) qui présentent un pouvoir de diffraction dans la seconde direction mais aucun dans la première, ainsi qu'une pluralité de deuxièmes surfaces de sortie (8bb) dotées d’un pouvoir de diffraction dans la seconde direction et non dans la première.
(JA) 一対の光学部材の相対的な位置決め誤差が照度分布や照明フィールドの形状に与える影響を小さく抑える特性を有するオプティカルインテグレータ。光の入射側から順に第1光学部材(8a)と第2光学部材(8b)とを備えた波面分割型のオプティカルインテグレータ(8)。第1光学部材は、第1方向(Z方向)に屈折力を有し且つ第2方向(X方向)に無屈折力の複数の第1入射面(8aa)と、第1方向に屈折力を有し且つ第2方向に無屈折力の複数の第1射出面(8ab)とを備えている。第2光学部材は、第2方向に屈折力を有し且つ第1方向に無屈折力の複数の第2入射面(8ba)と、第2方向に屈折力を有し且つ第1方向に無屈折力の複数の第2射出面(8bb)とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)