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1. (WO2006070555) ビーム記録方法及び装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/070555    国際出願番号:    PCT/JP2005/021934
国際公開日: 06.07.2006 国際出願日: 22.11.2005
IPC:
G11B 7/26 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01)
出願人: PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku, Tokyo 1538654 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KASONO, Osamu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUMASAKA, Osamu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KASONO, Osamu; (JP).
KUMASAKA, Osamu; (JP)
代理人: FUJIMURA, Motohiko; Fujimura & Associates Togeki Bldg. 1-1, Tsukiji 4-chome Chuo-ku, Tokyo 1040045 (JP)
優先権情報:
2004-379577 28.12.2004 JP
発明の名称: (EN) BEAM RECORDING METHOD AND DEVICE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF D'IMPRESSION PAR FAISCEAU
(JA) ビーム記録方法及び装置
要約: front page image
(EN)A beam recorder comprising a beam deflecting section for moving the exposure beam irradiating position relatively to a substrate on which a resist layer is formed, a substrate speed regulating section for regulating the moving speed of the substrate based on the deflection amount of exposure beam, and a deflection control section for varying the deflection speed of exposure beam at the time of exposing a recording signal in correspondence with the moving speed of the substrate.
(FR)La présente invention concerne un système d'impression par faisceau comprenant les éléments suivants : un déflecteur de faisceau qui déplace l'emplacement d'irradiation du faisceau d'exposition par rapport à un substrat sur lequel est formée une couche de réserve ; une unité de régulation de la vitesse du substrat qui régule la vitesse de déplacement du substrat selon l'amplitude de déflexion du faisceau d'exposition ; une unité de commande de déflexion qui fait varier la vitesse de déflexion du faisceau d'exposition à l'instant de l'exposition d'un signal d'impression en fonction de la vitesse de déplacement du substrat.
(JA) レジスト層が形成された基板に対して相対的に露光ビームの照射位置を移動させるビーム偏向部と、露光ビームの偏向量に基づいて基板の移動速度を調整する基板速度調整部と、記録信号の露光時における露光ビームの偏向速度を当該基板の移動速度に対応させて変化させる制御をなす偏向制御部と、を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)