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1. (WO2006043723) 蒸発源装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/043723 国際出願番号: PCT/JP2005/019746
国際公開日: 27.04.2006 国際出願日: 20.10.2005
IPC:
C23C 14/24 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
出願人:
双葉電子工業株式会社 FUTABA CORPORATION [JP/JP]; 〒2970033 千葉県茂原市大芝629 Chiba 629 Oshiba, Mobara-shi, Chiba 2970033, JP (AllExceptUS)
福田 辰男 FUKUDA, Tatsuo [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
福田 辰男 FUKUDA, Tatsuo; JP
代理人:
川崎 隆夫 KAWASAKI, Takao; 〒1050004 東京都港区新橋3丁目1番10号 石井ビル3階 Tokyo Ishii Bldg., 3F 1-10, Shimbashi 3-chome Minato-ku, Tokyo 1050004, JP
優先権情報:
2004-30747421.10.2004JP
発明の名称: (EN) EVAPORATION SOURCE
(FR) SOURCE D’EVAPORATION
(JA) 蒸発源装置
要約:
(EN) An evaporation source comprising a melting section (24), a storing section (21), an evaporating section (22), and a jetting section (23). When current is passed through tubular heaters (241, 211), they generate heat and a linear evaporation material (31) is melted. Molten evaporation material (32) moves from a heating container (242) to a heating container (212) and stays there. The evaporation material (32) in the heating container (212) descends from a descending opening (216) along a descending column (224). During the descending process, the evaporation material (32) is evaporated by radiation heat from a tubular heater (221). The vapor of the evaporation material (32) is jetted from a nozzle (232) toward a substrate (61). The tubular heaters (241, 211, 221, 231) are composed of graphite and generate heat when a voltage is applied between electrodes (213, 214), (214, 222), and (232, 233).
(FR) L’invention concerne une source d’évaporation comprenant une partie de fusion (24), une partie de stockage (21), une partie d’évaporation (22) et une partie d’éjection (23). Lorsque du courant circule dans des éléments chauffants tubulaires (241, 211), ceux-ci génèrent de la chaleur qui fait fondre une matière d’évaporation linéaire (31). La matière d’évaporation linéaire fondue (32) passe d’un réceptacle chauffant (242) à un réceptacle chauffant (212) où elle séjourne. La matière d’évaporation (32) dans le réceptacle chauffant (212) descend par une ouverture de descente (216) le long d’une colonne de descente (224). Pendant la descente, la matière d’évaporation (32) s’évapore par la chaleur rayonnée par un élément chauffant tubulaire (221). La vapeur de la matière d’évaporation (32) est éjectée par une buse (232) en direction d’un substrat (61). Les éléments chauffants tubulaires (241, 211, 221, 231) sont composés de graphite et génèrent de la chaleur lorsqu’une tension est appliquée entre des électrodes (213, 214), (214, 222) et (232, 233).
(JA)  蒸発源装置は、溶融部24、滞留部21、蒸発部22、噴射部23からなる。筒状発熱体241,211に通電すると発熱し、線状の蒸発材料31を溶融する。溶融した蒸発材料32は、加熱容器242から加熱容器212へ移動して滞留する。加熱容器212の蒸発材料32は、降下用開口216から降下用柱状体224を伝って降下する。その降下の過程で蒸発材料32は、筒状発熱体221の放射熱によって蒸発する。蒸発材料32の蒸気は、ノズル232から基板61へ噴射する。筒状発熱体241,211,221,231は、グラファイトからなり、電極213と214,214と222,232と233に電圧を印加すると発熱する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2006043723US20080128094JP4787170CN101080507DE112005002801