国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2006043631) ウエハ検査用異方導電性コネクターおよびその製造方法、ウエハ検査用プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/043631 国際出願番号: PCT/JP2005/019309
国際公開日: 27.04.2006 国際出願日: 20.10.2005
IPC:
H01R 43/00 (2006.01) ,H01R 11/01 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
R
導電接続;互いに絶縁された多数の電気接続要素の構造的な集合体;嵌合装置;集電装置
43
電線接続器または集電装置の製造,組立,保守または修理のためまたは導体接続のために特に採用される装置または方法
H 電気
01
基本的電気素子
R
導電接続;互いに絶縁された多数の電気接続要素の構造的な集合体;嵌合装置;集電装置
11
互いに接続される導電部材用の,間隔をあけた2つ以上の接続箇所を有する個々の接続部材(例,電線またはケーブルによって支持され,かつ,他の電線,端子,導電部材への電気接続を容易にするための手段を備えた,電線またはケーブルのための端子片,締付け端子柱ブロック)
01
接続位置間の導電相互接続の形状または配列に特徴があるもの
出願人:
JSR株式会社 JSR Corporation [JP/JP]; 〒1040045 東京都中央区築地五丁目6番10号 Tokyo 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045, JP (AllExceptUS)
木村 潔 KIMURA, Kiyoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
原 富士雄 HARA, Fujio [JP/JP]; JP (UsOnly)
山田 大典 YAMADA, Daisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
下田 杉郎 SHIMODA, Sugiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
木村 潔 KIMURA, Kiyoshi; JP
原 富士雄 HARA, Fujio; JP
山田 大典 YAMADA, Daisuke; JP
下田 杉郎 SHIMODA, Sugiro; JP
代理人:
大井 正彦 OHI, Masahiko; 〒1010062 東京都千代田区神田駿河台三丁目4番地 日専連朝日生命ビル Tokyo Nissenren-Asahiseimei Building 4, Kanda Surugadai 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010062, JP
優先権情報:
2004-30896322.10.2004JP
2005-14806720.05.2005JP
2005-25076431.08.2005JP
発明の名称: (EN) ANISOTROPIC CONDUCTIVE CONNECTOR FOR INSPECTING WAFER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, WAVER INSPECTION PROBE CARD, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND WAFER INSPECTION DEVICE
(FR) CONNECTEUR CONDUCTEUR ANISOTROPE POUR INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, CARTE DE SONDE D’INSPECTION DE PLAQUETTE, PROCÉDÉ DE FABRICATION IDOINE, ET DISPOSITIF D’INSPECTION DE PLAQUETTE
(JA) ウエハ検査用異方導電性コネクターおよびその製造方法、ウエハ検査用プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置
要約:
(EN) There is disclosed an anisotropic conductive connector capable of surely achieving a preferable electric connection state even when electrodes to be inspected on a wafer have an extremely small pitch. There are also disclosed a manufacturing method of the anisotropic conductive connector, a probe card, a manufacturing method thereof, and a wafer inspection device. The anisotropic conductive connector manufacturing method includes: a step for arranging contact members formed by magnetic metal and arranged on the surface of conductive elastomer material layer formed on a detachable support plate; a step for applying a magnetic field to the conductive elastomer material layer in its thickness direction; a step for performing a hardening process to form a conductive elastomer layer; a step of machining the conductive elastomer layer by using laser; a step or removing portions other than the portion where the contact members are arranged, thereby forming connection conductive parts having the contact members; a step for introducing each of the connection conductive parts into the insulation part material layer formed so as to close the opening of the frame plate; and a step for hardening the insulation part material layer so as to form an insulation part.
(FR) L’invention concerne un connecteur conducteur anisotrope capable de réaliser de façon sûre un état de branchement électrique préférable même si les électrodes à inspecter sur une plaquette ont un pas extrêmement petit. Elle concerne également un procédé de fabrication du connecteur conducteur anisotrope, une carte de sonde, un procédé de fabrication idoine et un dispositif d’inspection de plaquette. Le procédé de fabrication de connecteur conducteur anisotrope comporte : une phase de disposition d'éléments de contact constitués de métal magnétique et installés à la surface d'une couche de matériau élastomère conducteur formée sur une plaque support amovible ; une phase d’application d‘un champ magnétique à la couche de matériau élastomère conducteur dans le sens de l’épaisseur ; une phase de réalisation d’un processus de durcissement pour constituer une couche élastomère conductrice ; une phase d‘usinage au laser de la couche élastomère conductrice ; une phase d’enlèvement de portions autres que la portion sur laquelle les éléments de contact sont disposés, constituant ainsi des pièces conductrices de connexion possédant les éléments de contact ; une phase d’introduction de chacune des pièces conductrices de connexion dans la couche de matériau de pièce d’isolation pour refermer l’ouverture de la plaque de châssis ; et une phase de durcissement de la couche de matériau de pièce d’isolation pour produire une pièce d’isolation.
(JA)  被検査電極のピッチが極めて小さいウエハに対しても、良好な電気的接続状態を確実に達成することができる異方導電性コネクターおよびその製造方法、プローブカードおよびその製造方法並びにウエハ検査装置が開示されている。  本発明の異方導電性コネクターの製造方法は、離型性支持板上に形成された導電性エラストマー用材料層の表面に、磁性を示す金属よりなる接点部材を配置し、導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させると共に硬化処理を行って導電性エラストマー層を形成し、導電性エラストマー層をレーザー加工して接点部材が配置された部分以外の部分を除去することにより、接点部材が設けられた接続用導電部を形成し、この接続用導電部の各々を、フレーム板の開口を塞ぐよう形成された絶縁部用材料層中に浸入させ、絶縁部用材料層を硬化処理して絶縁部を形成する工程を有する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)