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1. (WO2006040988) 脆性材料基板のスクライブ方法ならびにスクライブ装置および脆性材料基板の分断システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/040988 国際出願番号: PCT/JP2005/018475
国際公開日: 20.04.2006 国際出願日: 05.10.2005
IPC:
B28D 5/00 (2006.01)
B 処理操作;運輸
28
セメント,粘土,または石材の加工
D
石材または石材類似材料の加工
5
宝石類,結晶体の精密加工,例.半導体の材料;そのための装置
出願人:
三星ダイヤモンド工業株式会社 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 〒5640044 大阪府吹田市南金田2丁目12番12号 Osaka 2-12-12, Minami-Kaneden Suita-city, Osaka 5640044, JP (AllExceptUS)
高松 生芳 TAKAMATSU, Kiyoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
音田 健司 OTODA, Kenji [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
高松 生芳 TAKAMATSU, Kiyoshi; JP
音田 健司 OTODA, Kenji; JP
代理人:
山本 秀策 YAMAMOTO, Shusaku; 〒5406015 大阪府大阪市中央区城見一丁目2番27号 クリスタルタワー15階 Osaka Fifteenth Floor, Crystal Tower 2-27, Shiromi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5406015, JP
優先権情報:
2004-29944613.10.2004JP
発明の名称: (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SCRIBING BRITTLE MATERIAL BOARD AND SYSTEM FOR BREAKING BRITTLE MATERIAL BOARD
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE DECOUPE DE PLAQUETTE EN MATIERE CASSANTE ET SYSTEME DE RUPTURE DE PLAQUETTE EN MATIERE CASSANTE
(JA) 脆性材料基板のスクライブ方法ならびにスクライブ装置および脆性材料基板の分断システム
要約:
(EN) Generation of uncontrollable unnecessary cracks in unspecified directions is prevented during scribing process of a brittle material board. A mother glass board (90) is provided on the surface of a first holding table (21) and a second holding table (22). When the mother glass board is fixed on the first holding table (21) and the second holding table (22) by being sucked from a suction hole by a vacuum pump and the like, nonuniform internal stress existing in the mother glass board (90) is adjusted in a specific direction for scribing, by moving the first holding table (21) and/or the second holding table (22) a minute distance along a prescribed direction.
(FR) L’invention permet d’éviter l’apparition de fissures intempestives et incontrôlables dans des directions aléatoires au cours du processus de découpe d’une plaquette en matière cassante. Une plaquette mère en verre (90) est placée sur la surface d’une première table de maintien (21) et d’une deuxième table de maintien (22). Lorsque la plaquette mère en verre est fixée sur la première table de maintien (21) et la deuxième table de maintien (22) en étant aspirée à travers un trou d’aspiration par une pompe à vide ou un dispositif analogue, les contraintes internes non uniformes présentes dans la plaquette mère en verre (90) sont ajustées dans une direction particulière pour la découpe, en déplaçant la première table de maintien (21) et/ou la deuxième table de maintien (22) d’une distance infime le long d’une direction prescrite.
(JA)  脆性材料基板のスクライブ加工時、不特定な方向へ制御できない不必要なクラックの発生を防止する。  マザーガラス基板90が第1保持テーブル21および第2保持テーブル22の表面に設けられて吸引孔から真空ポンプ等により吸引され第1保持テーブル21および第2保持テーブル22に吸引固定されたときに、マザーガラス基板90の内部に内在する不均一な内部応力を、第1保持テーブル21および/または第2保持テーブル22が微小距離を所定方向に沿って移動することにより、特定の方向に整え、スクライブする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020070067200EP1800820JPWO2006040988US20090050610JP4818120CN101068666