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1. (WO2006040890) 露光装置及びデバイス製造方法
国内段階移行に関する情報(詳細)
官庁移行日国内番号国内ステータス
日本 26.02.20072006540850
大韓民国 27.02.20071020077004818Published: 19.06.2007
Withdrawn: 08.10.2010
欧州特許庁(EPO) 12.04.20072005778485Published: 11.07.2007
Withdrawn: 06.09.2010
アメリカ合衆国 19.06.200811664863Published: 27.08.2009