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1. (WO2006035932) 塗布装置及び塗布ヘッドの目詰まり防止方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/035932 国際出願番号: PCT/JP2005/018125
国際公開日: 06.04.2006 国際出願日: 30.09.2005
IPC:
B05C 11/10 (2006.01) ,B05C 5/00 (2006.01) ,B05D 1/26 (2006.01) ,G03F 7/16 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,B41J 2/165 (2006.01) ,G02F 1/13 (2006.01)
B 処理操作;運輸
05
霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C
液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
11
グループB05C1/00からB05C9/00までに特に分類されない構成部品,細部または付属品
10
液体または他の流動性材料の貯留,供給または制御;余剰の液体または他の流動性材料の回収
B 処理操作;運輸
05
霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C
液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
5
液体または他の流動性材料が被加工物の表面上に射出,注出あるいは流下されるようにした装置
B 処理操作;運輸
05
霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
D
液体または他の流動性材料を表面に適用する方法一般
1
液体または他の流動性材料を適用する方法
26
表面と接触,またはほとんど接触する排出口機構から液体または他の流動性材料を適用することによって行なわれるもの
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
16
塗布法;そのための装置
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
B 処理操作;運輸
41
印刷;線画機;タイプライター;スタンプ
J
タイプライタ;選択的プリンティング機構,すなわち版以外の手段でプリンティングする機構;誤植の修正
2
設計されるプリンティングまたはマーキング方法に特徴があるタイプライタまたは選択的プリンティング機構
005
液体または粒子を選択的にプリンティング材料に接触させることに特徴があるもの
01
インクジェット
135
ノズル
165
ノズルの目詰り防止,例.ノズルの浄化,キャッピングまたは湿らすこと
G 物理学
02
光学
F
光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1
独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01
強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13
液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
出願人:
芝浦メカトロニクス株式会社 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 〒2470006 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号 Kanagawa 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2470006, JP (AllExceptUS)
豊島 範夫 TOYOSHIMA, Norio; null (UsOnly)
重山 昭宏 SHIGEYAMA, Akihiro; null (UsOnly)
山崎 貴弘 YAMAZAKI, Takahiro; null (UsOnly)
黒澤 雅彦 KUROSAWA, Masahiko; null (UsOnly)
発明者:
豊島 範夫 TOYOSHIMA, Norio; null
重山 昭宏 SHIGEYAMA, Akihiro; null
山崎 貴弘 YAMAZAKI, Takahiro; null
黒澤 雅彦 KUROSAWA, Masahiko; null
代理人:
三好 秀和 MIYOSHI, Hidekazu; 〒1050001 東京都港区虎ノ門一丁目2番8号 虎ノ門琴平タワー Tokyo Toranomon Kotohira Tower 2-8, Toranomon 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050001, JP
優先権情報:
2004-28783430.09.2004JP
発明の名称: (EN) APPLICATION DEVICE AND METHOD OF PREVENTING APPLICATION HEAD CLOGGING
(FR) DISPOSITIF D’APPLICATION ET MÉTHODE POUR EMPÊCHER LE COLMATAGE D’UNE TÊTE D’APPLICATION
(JA) 塗布装置及び塗布ヘッドの目詰まり防止方法
要約:
(EN) An application device for applying a liquid to a member to which the liquid is to be applied, the application being made by controlling the quantity of the liquid discharged from a discharge opening (5ca) of a nozzle plate (5c). A glass-made thin flat plate (71) is provided so as to face a bottom surface of the nozzle plate (5c), and a controller (9) controls the flat plate (71) to move it vertically, enabling it to be in contact with an application liquid drop L. When the flat plate (71) is caused to be in contact with the liquid drop L at the discharge opening (5ca) of the nozzle plate (5c), the liquid drop L spreads, while pulling the flat plate (71) with which the liquid drop L is in contact, between the flat plate (71) and the nozzle plate (5c) to form an application liquid film. This causes the flat plate (71) to be adhered to the nozzle plate (5c) side. As a result, that portion of the application liquid which is near the discharge opening (5ca) is prevented from being in contact with air, and this prevents the nozzle discharge opening from clogging by solidification of the application liquid.
(FR) Dispositif d’application servant à appliquer un liquide à un organe auquel le liquide doit être appliqué, l’application étant effectuée par gestion de la quantité de liquide débité depuis une ouverture de débit (5ca) d’une plaque de buses (5c). Une plaque de verre mince et plate (71) est installée face à la surface inférieure de la plaque de buses (5c), et un contrôleur (9) gère la plaque plate (71) afin de la déplacer à la verticale, ce qui lui permet d’être en contact avec une goutte de liquide à appliquer L. Quand la plaque plate (71) est mise en contact avec la goutte de liquide L au niveau de l’ouverture de débit (5ca) de la plaque de buse (5c), la goutte de liquide L s’étale, pendant la traction de la plaque plate (71) ce qui met la goutte de liquide L en contact, entre la plaque plate (71) et la plaque de buse (5c) pour former une pellicule de liquide à appliquer. La plaque plate (71) adhère ainsi au côté de la plaque de buse (5c). La partie du liquide à appliquer qui se trouve près de l’ouverture de débit (5ca) ne peut donc pas entrer en contact avec l’air, ce qui empêche l’ouverture de débit des buses de se boucher par solidification du liquide à appliquer.
(JA)  ノズルプレート(5c)の吐出口(5ca)からの吐出量を制御して、被塗布部材に塗布液を塗布する塗布装置において、制御器(9)による制御により、ノズルプレート(5c)の底面に対向配置の薄いガラス製の平板(71)を上方向に移動させ、吐出口(5ca)の塗布液滴Lに接触可能に構成する。ノズルプレート(5c)の吐出口(5ca)において、平板(71)を塗布液滴Lに接触させたとき、塗布液滴Lはその接触した平板(71)を引き寄せつつ平板(71)とノズルプレート(5c)との間に広がり塗布液膜を形成するので、平板(71)はノズルプレート(5c)側に貼り付けられる。その結果、吐出口(5ca)近傍における塗布液の空気との接触は回避され、塗布液固化によるノズル吐出口の目詰まりを回避できる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020070043029