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1. (WO2006035733) 基板検査装置の基板ホルダ及び基板検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2006/035733 国際出願番号: PCT/JP2005/017652
国際公開日: 06.04.2006 国際出願日: 26.09.2005
IPC:
G01N 21/84 (2006.01) ,G01M 11/00 (2006.01) ,G02F 1/13 (2006.01) ,B65G 49/06 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
G 物理学
01
測定;試験
M
機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11
光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
G 物理学
02
光学
F
光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1
独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01
強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13
液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
06
もろい薄板状材料,例.ガラス板,用のもの
出願人:
オリンパス株式会社 OLYMPUS CORPORATION [JP/JP]; 〒1510072 東京都渋谷区幡ヶ谷2丁目43番2号 Tokyo 43-2, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1510072, JP (AllExceptUS)
岡平 裕幸 OKAHIRA, Hiroyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
岡平 裕幸 OKAHIRA, Hiroyuki; JP
代理人:
棚井 澄雄 TANAI, Sumio; 〒1048453 東京都中央区八重洲2丁目3番1号 Tokyo 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453, JP
優先権情報:
2004-27998927.09.2004JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOLDER FOR SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS, AND SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS
(FR) PORTE-SUBSTRAT POUR APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT, ET APPAREIL D’INSPECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置の基板ホルダ及び基板検査装置
要約:
(EN) A substrate inspecting apparatus is provided with a substrate holder (6) for holding a substrate (W). The substrate holder (6) is provided with a plurality of supporting arm parts (10), which extend parallel to each other at equal intervals from a base part (7) attached to a multijoint robot (8) and have a comb teeth shape as a whole. On an upper plane (10a) of each supporting arm part (10), a suction part (12) is arranged for holding the substrate (W) by suction. Furthermore, on each of the sides of a base end part (11a) and the leading end part (11b) of the supporting arm part (10), a bar (15) is attached, and on the outer plane of the external supporting arm part (10), a bar (17) is attached. The side edges of the substrate (W) are held by the bars (15, 17).
(FR) Appareil d’inspection de substrat doté d’un porte-substrat (6) servant à tenir un substrat (W). Le porte-substrat (6) est doté d’une pluralité de parties de bras de support (10) qui s’étendent en parallèle les unes aux autres à des intervalles égaux d’une partie de base (7) fixée à un robot à articulations multiples (8) et qui sont formées, dans l’ensemble, en dents de peigne. Sur un plan supérieur (10a) de chaque partie de bras de support (10), une partie aspiration (12) est agencée pour tenir le substrat (W) par aspiration. Par ailleurs, une barre (15) est fixée sur chaque côté d’une partie d’extrémité de base (11a) et de la partie d’extrémité d’attaque (11b) de la partie de bras de support (10), une barre (17) étant fixée sur le plan externe de la partie de bras de support externe (10). Les bords latéraux du substrat (W) sont tenus par les barres (15, 17).
(JA)  本発明の基板検査装置は、基板Wを保持する基板ホルダ6を備えている。基板ホルダ6は、多関節ロボット8に取り付けられたベース部7から、複数の支持腕部10を平行に、かつ等間隔に延設させており、全体として櫛歯状になっている。各支持腕部10の上面10aには、基板Wを吸着保持するための吸着部12が配設されている。さらに、支持腕部10の基端部11a側と、先端部11b側のそれぞれに桟15が取り付けられており、外側の支持腕部10の外側面には支え桟17が取り付けられており、これら桟15,17で基板Wの側縁を保持できるようなっている。   
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020070103354JP4377918CN101027547