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1. (WO2006033186) 基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/033186    国際出願番号:    PCT/JP2005/009331
国際公開日: 30.03.2006 国際出願日: 23.05.2005
予備審査請求日:    20.04.2006    
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B08B 3/02 (2006.01), B08B 3/08 (2006.01), B08B 3/12 (2006.01), B08B 9/08 (2006.01)
出願人: S.E.S. CO., LTD. [JP/JP]; 9-18, Imai 3-chome, Oume-shi Tokyo 1980023 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKATSUKASA, Katsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAGUCHI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OGASAWARA, Kazuhisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KIZAWA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKATSUKASA, Katsuyoshi; (JP).
YAMAGUCHI, Hiroshi; (JP).
OGASAWARA, Kazuhisa; (JP).
KIZAWA, Hiroshi; (JP)
代理人: WIN TECH PATENT OFFICE; 4th Fl., Wenping Kanda Bldg., 6-7, Kanda Kajicho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101-0045 (JP)
優先権情報:
2004-275679 22.09.2004 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置
要約: front page image
(EN)A substrate treatment apparatus, comprising a box-shaped treatment tank (11) having an opening part at its upper side and a cover body (21) openably covering the opening part of the treatment tank. The cover body (21) is characterized in that a drying chamber (23) storing and drying a treated substrate (W) is formed therein, the treatment tank (11) is so formed that at least three of treatment fluid feed nozzle tubes (14a) to (14c) and (14a') to (14c') are disposed at each of the opposed side wall faces thereof forming the box shape horizontally at specified intervals and these feed nozzle tubes (14a) to (14c) and (14a') to (14c') are formed to be connected to a switching mechanism to supply a treatment fluid from the opposed side wall sides while alternately switching them at the opposed side wall faces. Thus, the treatment of various types of chemical liquids, flushing, and drying can be performed in the same treatment tank.
(FR)L'invention concerne dispositif de traitement de substrat, qui comprend une cuve de traitement en forme de boîte (11) pourvue d'une partie d'ouverture sur son côté supérieur et d'un corps de couvercle (21) qui permet de couvrir et de découvrir sa partie d'ouverture. Le corps de couvercle (21) est caractérisé en ce qu'il comporte une chambre de séchage (23) qui renferme et qui sèche un substrat (W), la cuve de traitement (11) étant conçue de manière à ce que au moins trois tubes de buse d'alimentation de liquide de traitement (14a à 14c; 14a' à 14c') soient disposés horizontalement à des intervalles spécifiés sur chacune des faces des parois latérales opposées qui forment la boîte. Ces tubes de buse d'alimentation (14a à 14c; 14a' à 14c') sont raccordés à un système de commutation pour fournir le liquide de traitement provenant des côtés des parois latérales opposées et les soumettre à une commutation sur les faces des parois latérales opposées. L'invention permet ainsi de traiter divers types de liquides chimiques, le rinçage et le séchage pouvant être effectués dans la même cuve de traitement.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)