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1. (WO2006030609) ラクトン化合物、ラクトン含有単量体、それらのポリマー、それを用いたレジスト組成物、それを用いたパターン形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/030609    国際出願番号:    PCT/JP2005/015355
国際公開日: 23.03.2006 国際出願日: 24.08.2005
IPC:
C07D 311/94 (2006.01), C08F 20/28 (2006.01), G03F 7/039 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 5253, Oaza Okiube, Ube-shi, Yamaguchi 7550001 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUMIDA, Shinichi; (米国のみ).
KOMORIYA, Haruhiko; (米国のみ).
SUZUKI, Katsutoshi; (米国のみ).
MAEDA, Kazuhiko; (米国のみ)
発明者: SUMIDA, Shinichi; .
KOMORIYA, Haruhiko; .
SUZUKI, Katsutoshi; .
MAEDA, Kazuhiko;
代理人: HASHIMOTO, Takeshi; c/o Shiga Patent Office Ekisaikai Bldg. 1-29, Akashi-cho Chuo-ku, Tokyo 1040044 (JP)
優先権情報:
2004-266071 13.09.2004 JP
発明の名称: (EN) LACTONE COMPOUND, LACTONE-CONTAINING MONOMER, POLYMER OF THOSE, RESIST COMPOSITION USING SAME, METHOD FOR FORMING PATTERN USING SAME
(FR) DÉRIVÉ DE LACTONE, MONOMÈRE CONTENANT UNE LACTONE, POLYMÈRE FORMÉ À PARTIR DE CE MONOMÈRE, FORMULATION DE MATÉRIAU DE PROTECTION POUR APPAREILLAGE ÉLECTRIQUE À PARTIR DUDIT POLYMÈRE, ET MÉTHODE DE CONFIGURATION DUDIT MATÉRIAU
(JA) ラクトン化合物、ラクトン含有単量体、それらのポリマー、それを用いたレジスト組成物、それを用いたパターン形成方法
要約: front page image
(EN)Disclosed are novel first to fourth lactone compounds. The first lactone compound is represented by the formula (1) below. (1) In the formula, X represents CH2, CH2CH2, O, S or NR1; R1 represents a hydrogen atom or a straight chain, branched or cyclic alkyl group having 1-10 carbon atoms. A part or all of hydrogen atoms in the alkyl group may be substituted by fluorine atoms, and a part of the alkyl group may include an atomic group containing an oxygen atom, a sulfur atom, a nitrogen atom, a carbon-carbon double bond, a carbonyl group, a hydroxy group or a carboxyl group.
(FR)La présente invention décrit quatre dérivés de lactones originaux. Le premier dérivé de lactone est représenté par la formule (1) ci-dessous. (1) Dans la formule, X représente CH2, CH2CH2, O, S ou NR1 ; R1 représente un atome d’hydrogène ou un groupement alkyle comprenant entre 1 et 10 atomes de carbone, sous forme de chaîne linéaire, de chaîne ramifiée ou de cycle. Tout ou partie des atomes d’hydrogène du groupement alkyle peut être substitué par des atomes de fluor, et une partie du groupement alkyle peut incorporer un groupement fonctionnel comprenant un atome d'oxygène, un atome de soufre, un atome d'azote, une double liaison carbone-carbone, un groupement carbonyle, un groupement hydroxy ou un groupement carboxy.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)