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1. (WO2006028188) ステージ装置及び露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/028188    国際出願番号:    PCT/JP2005/016552
国際公開日: 16.03.2006 国際出願日: 08.09.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAGIWARA, Shigeru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IWATA, Naohiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IWASAKI, Masaya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HOSHINO, Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MOTOYAMA, Chizuko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KATO, Yuzo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HAGIWARA, Shigeru; (JP).
IWATA, Naohiko; (JP).
IWASAKI, Masaya; (JP).
HOSHINO, Tadashi; (JP).
MOTOYAMA, Chizuko; (JP).
KATO, Yuzo; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-263882 10.09.2004 JP
発明の名称: (EN) STAGE APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL À ÉTAGE ET APPAREIL D’EXPOSITION
(JA) ステージ装置及び露光装置
要約: front page image
(EN)A stage apparatus which can highly accurately measure the position of a stage, while achieving a high throughput, and an exposure apparatus provided with the stage apparatus. The stage apparatus is provided with air conditioning apparatuses (28X, 28Y) for supplying temperature controlled air (down flow), which comes from a +Z direction to a -Z direction, to a light path of a laser beam irradiated from a laser interferometer onto moving mirrors (26X, 26Y) provided on a wafer stage (WST); and an air conditioning apparatus (29) for supplying temperature controlled air (lower layer side flow), which comes from a -Y direction to a +Y direction, to a space lower than the light path of the laser beam. Furthermore, an air conditioning apparatus (34) is provided for supplying temperature controlled air to a light path of an autofocusing sensor composed of an irradiation optical system (33a) and a light receiving optical system (33b).
(FR)L’invention porte sur un appareil à étage capable de mesurer avec une grande précision la position d’un étage, tout en assurant un rendement élevé et sur un appareil d’exposition doté de l’appareil à étage. L’appareil à étage est pourvu d’appareils climatiseurs (28X, 28Y) pour injecter de l’air contrôlé en température (écoulement vers le bas,) provenant d’une direction +Z et allant dans une direction -Z, vers un trajet lumineux d’un faisceau laser irradié depuis un interféromètre laser sur des miroirs mobiles (26X, 26Y) installés sur un étage de plaquette (WST); et d’un appareil climatiseur (29) pour injecter de l’air contrôlé en température (écoulement latéral de couche inférieure), provenant d’une direction -Y et allant dans une direction +Y, vers un espace inférieur au trajet lumineux du faisceau laser. En outre, l’invention concerne un appareil climatiseur (34) pour injecter de l’air contrôlé en température dans un trajet lumineux d’un capteur d’autofocalisation composé d’un système optique d’irradiation (33a) et d’un système optique récepteur de lumière (33b).
(JA) 高スループットを達成しながらもステージの位置を高精度に計測することができるステージ装置、及び当該ステージ装置を備える露光装置を提供する。ステージ装置は、レーザ干渉計からウェハステージ(WST)上に設けられた移動鏡(26X,26Y)に照射されるレーザ光の光路に対して+Z方向から-Z方向の温調エア(ダウンフロー)を供給する空調装置(28X,28Y)と、レーザ光の光路より下方の空間に-Y方向から+Y方向の温調エア(下層サイドフロー)を供給する空調装置(29)とを備える。更に、照射光学系(33a)及び受光光学系(33b)からなるオートフォーカスセンサの光路に対して温調エアを供給する空調装置(34)を備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)