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1. (WO2006028040) ウエハチャック
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/028040    国際出願番号:    PCT/JP2005/016234
国際公開日: 16.03.2006 国際出願日: 05.09.2005
予備審査請求日:    05.07.2006    
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OGASAWARA, Ikuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KATO, Yoshiyasu [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OGASAWARA, Ikuo; (JP).
KATO, Yoshiyasu; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100-0005 (JP)
優先権情報:
2004-258955 06.09.2004 JP
発明の名称: (EN) WAFER CHUCK
(FR) MANDRIN POUR PLAQUETTE
(JA) ウエハチャック
要約: front page image
(EN)A wafer chuck is provided with a plurality of pins which protrude and retreat in a plurality of through holes formed in a vertical direction on a placing table, and an ascending/descending mechanism for ascending and descending the pins. The wafer chuck receives a wafer by protruding the pins from the placing plane of the placing table. On each upper edge plane of the pin, a receiving plane part is provided for substantially not making a space between the pin and each of the corresponding through holes, and a means for aligning the receiving plane part with the placing plane is provided.
(FR)Mandrin pour plaquette doté d’une pluralité de tiges sortant et rentrant dans une pluralité de trous traversants formés dans un sens vertical sur une table de placement, et mécanisme de montée/descente servant à faire monter et descendre lesdites tiges. Le mandrin pour plaquette reçoit une plaquette en faisant sortir les tiges du plan de placement de la table de placement. Sur chaque plan de bord supérieur de la tige, une partie de plan de réception est ménagée de façon qu’il ne laisse pas un espace important entre la tige et chacun des trous traversants correspondants, un moyen servant à aligner la partie de plan de réception avec celui de placement étant installé.
(JA) 本発明は、載置台に形成された複数の鉛直方向の貫通孔を出没する複数のピンと、前記複数のピンを昇降させて出没させる昇降機構と、を備え、前記複数のピンを前記載置台の載置面から突出させてウエハを授受するように構成されているウエハチャックである。前記複数のピンの各上端面に、対応する各貫通孔との間で実質的に隙間を作らないような受け面部が設けられ、当該受け面部を、前記載置面に対して揃える手段が設けられている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)