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1. (WO2006027873) 圧電薄膜共振子
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/027873    国際出願番号:    PCT/JP2005/008427
国際公開日: 16.03.2006 国際出願日: 09.05.2005
IPC:
H03H 9/17 (2006.01), H03H 9/54 (2006.01), H03H 9/70 (2006.01)
出願人: Murata Manufacturing Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
FUJII, Hidetoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUBO, Ryuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMADA, Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: FUJII, Hidetoshi; (JP).
KUBO, Ryuichi; (JP).
YAMADA, Hajime; (JP)
代理人: YAMAMOTO, Toshinori; Room 810, Kondo Bldg. 4-12, Nishitenma 4-chome, Kita-ku Osaka-shi, Osaka 5300047 (JP)
優先権情報:
2004-264281 10.09.2004 JP
発明の名称: (EN) THIN FILM PIEZOELECTRIC RESONATOR
(FR) RÉSONATEUR PIÉZOÉLECTRIQUE À FILM MINCE
(JA) 圧電薄膜共振子
要約: front page image
(EN)A thin film piezoelectric resonator in which strength of a membrane is ensured without damaging resonance characteristics. The piezoelectric resonator can be handled easily at the time of packaging. A thin film piezoelectric resonator (10) comprises a substrate (11), a thin film part, and reinforcing films (19a, 19b). The thin film part has at least two support parts to be supported by the substrate (11), and a float part arranged at a distance from the substrate (11) and supported by the support parts. The float part includes a piezoelectric thin film (18), and a pair of excitation electrodes (17a, 17b) facing each other while sandwiching the piezoelectric thin film (18). The reinforcing films (19a, 19b) are formed in the vicinity of the boundary of the support parts and the float part of the thin film part.
(FR)L’invention porte sur un résonateur piézoélectrique à film mince garantissant la résistance d’une membrane sans compromettre les caractéristiques de résonance. Le résonateur piézoélectrique est facile à manipuler au moment du conditionnement. Un résonateur piézoélectrique à film mince (10) comprend un substrat (11), une pièce en film mince et des films de renfort (19a, 19b). La pièce en film mince possède au moins deux pièces de support soutenues par le substrat (11) et une pièce flottante disposée à une certaine distance du substrat (11) et soutenue par les pièces de support. La pièce flottante comporte un film mince piézoélectrique (18) et une paire d’électrodes d’excitation (17a, 17b) se faisant face tout en prenant en sandwich le film mince piézoélectrique (18). Les films de renfort (19a, 19b) sont formés au voisinage de l’interface entre les pièces de support et la pièce flottante de la pièce en film mince.
(JA) 共振特性を損なうことなく、メンブレンの強度を確保し、実装時の取り扱いを容易にすることができる圧電薄膜共振子を提供する。  圧電薄膜共振子10は、基板11と、薄膜部と、補強膜19a,19bとを備える。薄膜部は、基板11に支持される少なくとも2箇所の支持部分と、基板11から間隔を設けて配置され支持部分に支持される浮き部分とを有する。浮き部分は、圧電薄膜18と、圧電薄膜18を挟んで対向する一対の励振電極17a,17bとを含む。補強膜19a,19bは、薄膜部の支持部分と浮き部分との境界近傍部分に形成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)