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1. (WO2006025452) イオンビーム照射装置およびイオンビーム照射方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/025452    国際出願番号:    PCT/JP2005/015919
国際公開日: 09.03.2006 国際出願日: 31.08.2005
IPC:
H01J 37/317 (2006.01), G02F 1/1337 (2006.01)
出願人: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. [JP/JP]; 575, Kuze Tonoshiro-cho, Minami-ku Kyoto-shi, Kyoto 6018205 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ANDO, Yasunori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ANDO, Yasunori; (JP)
代理人: NAITO, Teruo; Shin-ei Patent Office 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2004-255648 02.09.2004 JP
発明の名称: (EN) ION BEAM IRRADIATION APPARATUS AND ION BEAM IRRADIATION METHOD
(FR) APPAREIL D'IRRADIATION PAR FAISCEAU D’IONS ET PROCÉDÉ D'IRRADIATION PAR FAISCEAU D’IONS
(JA) イオンビーム照射装置およびイオンビーム照射方法
要約: front page image
(EN)An ion beam irradiation apparatus is provided with a vacuum container (10), an ion source (2), a board driving mechanism (30), a rotating shaft (14), an arm (12) and a motor. The ion source (2) is provided in the vacuum container (10) and irradiates a board (6) with an ion beam (4) having a width wider than that of the board. The board driving mechanism (30) drives the board (6) to reciprocate in the vacuum container (10). The rotating shaft (14) has a center shaft (14a) separated from the ion source (2) but close to the board and is substantially parallel to the board surface. The arm (12) is provided in the vacuum container (10) and supports the ion source (2) from the rotating shaft (14). The motor is provided outside the vacuum container (10) and reciprocates and rotates the rotating shaft (14).
(FR)L’invention décrit un appareil d’irradiation par faisceau d’ions équipé d’un contenant sous vide (10), d'une source d'ions (2), d'un mécanisme d'entraînement de carte (30), d'un arbre rotatif (14), d'un bras (12) et d'un moteur. La source d’ions (2) est située dans le contenant sous vide (10) et irradie une carte (6) avec un faisceau d’ions (4) dont la largeur est supérieure à celle de la carte. Le mécanisme d'entraînement de carte (30) entraîne la carte (6) en va-et-vient dans le contenant à vide (10). L’arbre rotatif (14) a un arbre central (14a) éloigné de la source d’ions (2) mais près de la carte et est sensiblement parallèle à la surface de la carte. Le bras (12) est situé dans le contenant sous vide (10) et supporte la source d’ions (2) de l’arbre rotatif (14). Le moteur est situé à l’extérieur du contenant sous vide (10) et fait aller et venir et tourner l’arbre rotatif (14).
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)