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1. (WO2006025341) 基板ホルダ及びステージ装置並びに露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/025341    国際出願番号:    PCT/JP2005/015687
国際公開日: 09.03.2006 国際出願日: 29.08.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2004-253978 01.09.2004 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE HOLDER, STAGE APPARATUS, AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL A PLATINE ET APPAREIL D’EXPOSITION
(JA) 基板ホルダ及びステージ装置並びに露光装置
要約: front page image
(EN)A substrate holder holds a substrate in excellent flatness even at the peripheral edge section, surrounding suction space, of the holder. The substrate holder has a peripheral edge section (33) surrounding suction space (38) and a first support section (34) provided in the suction space (38) and supporting a substrate. The substrate holder also has a second support section (7) extending from the peripheral edge section (33) side to the first support section (34) side and supporting the substrate.
(FR)L’invention concerne un porte-substrat maintenant un substrat parfaitement à plat même au niveau de sa partie de bord périphérique entourant un espace d’aspiration. Le porte-substrat présente une partie de bord périphérique (33) entourant un espace d’aspiration (38) et une première partie de soutien (34) ménagée dans l’espace d’aspiration (38) et soutenant un substrat. Le porte-substrat présente également une deuxième partie de soutien (7) se prolongeant depuis le côté de la partie de bord périphérique (33) jusqu’au côté de la première partie de soutien (34) et soutenant le substrat.
(JA) 吸引空間を囲む周縁部においても良好な平坦度で基板を保持する。吸引空間(38)を囲む周縁部(33)と、吸引空間(38)に設けられ基板を支持する第1支持部(34)とを備える。周縁部(33)側から第1支持部(34)側に向けて延び、基板を支持する第2支持部(7)を備えた。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)