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1. (WO2006025309) プローブ針、プローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/025309    国際出願番号:    PCT/JP2005/015637
国際公開日: 09.03.2006 国際出願日: 29.08.2005
IPC:
G01R 1/067 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HOSHINO, Tomohisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HASHIMOTO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HARADA, Muneo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HOSHINO, Tomohisa; (JP).
HASHIMOTO, Hiroyuki; (JP).
HARADA, Muneo; (JP)
代理人: ITOH, Hidehiko; IMY INTERNATIONAL PATENT OFFICE Kyowa Shimanouchi Bldg., 21-19 Shimanouchi 1-chome, Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5420082 (JP)
優先権情報:
2004-251081 30.08.2004 JP
発明の名称: (EN) RPOBE NEEDLE, METHOD OF MANUFACTURING PROBE NEEDLE, AND METHOD OF MANUFACTURING THREE-DIMENSIONAL BODY STRUCTURE
(FR) AIGUILLE DE SONDE, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'AIGUILLE DE SONDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE STRUCTURE DE CORPS TRIDIMENSIONNELLE
(JA) プローブ針、プローブ針の製造方法および三次元立体構造の製造方法
要約: front page image
(EN)A probe needle, a method of manufacturing the probe needle, and a method of manufacturing a three-dimensional body structure. The probe needle comprises a pair of zigzag beams fixed at one ends and a connection part fitted to the other ends of the pair of zigzag beams and connecting the pair of zigzag beams to each other. A contactor in contact with an inspected material is formed on the connection part on the opposite side of the beams. The pair of zigzag beams are so formed that the frequencies of the folding thereof are equal to each other and the deviation of folding phase is 180°.
(FR)Cette invention a trait à une aiguille de sonde, un procédé de fabrication de l'aiguille de sonde et un procédé de fabrication d'une structure de corps tridimensionnelle. L'aiguille de sonde comprend une paire de tiges en zigzag fixées au niveau de premières extrémités et une partie de liaison ajustée aux autres extrémités de la paire de tiges en zigzag et reliant la paire de tiges en zigzag l'une à l'autre. Un contacteur en contact avec un matériau inspecté est formé sur la partie de liaison sur le côté opposé des tiges. La paire de tiges en zigzag est formée de telle manière que les fréquences du pliage de celles-ci sont égales l'une à l'autre et que la déviation de phase de pliage est de 180°.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)