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1. (WO2006025136) プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/025136    国際出願番号:    PCT/JP2005/009172
国際公開日: 09.03.2006 国際出願日: 19.05.2005
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1, Kasama, Sakae-ku Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMAZAKI, Katsuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMAZAKI, Katsuhiro; (JP)
代理人: KIUCHI, Mitsuharu; 5th Floor, Toranomon-Yoshiara Bldg. 6-13, Nishi-Shinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2004-254241 01.09.2004 JP
発明の名称: (EN) PLASMA TREATMENT APPARATUS AND METHOD OF PLASMA TREATMENT
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA ET PROCEDE DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
要約: front page image
(EN)The functional deterioration of plasma treatment apparatus attributed to a reduction of plasma generation chamber caused by reducing plasma produced from introduced process gas is prevented to thereby realize prolongation of the service life of members brought into contact with reducing plasma, such as plasma generation chamber members. In one embodiment, there is provided a plasma treatment apparatus capable of treating the surface of treatment subject (S) by means of radicals produced by excitation of process gas, wherein plasma generation chamber member (6) having plasma generation chamber (6a) created thereinside is connected to gas introduction pipe (5) disposed outside processing chamber (1) and wherein the plasma generation chamber member (6) at its end is fitted with gas control unit (7). It is so constructed that when the plasma generation chamber member (6) is reduced by reducing plasma produced from gas introduced from the gas control unit (7), the gas control unit (7) introduces re-oxidation gas in place of reducing gas into the plasma generation chamber (6a).
(FR)L’invention permet de prévenir toute détérioration fonctionnelle de l’appareil de traitement au plasma attribuée à une réduction de la chambre de génération de plasma provoquée par un plasma de réduction produit à partir du gaz de traitement injecté pour ainsi réaliser une prolongation de la vie de service des éléments amenés au contact du plasma de réduction, comme des éléments de chambre de génération de plasma. Selon un mode de réalisation, l’invention concerne un appareil de traitement au plasma capable de traiter la surface de l’objet de traitement (S) au moyen de radicaux produits par excitation du gaz de traitement, où l’élément de chambre de génération de plasma (6) ayant une chambre de génération de plasma (6a) créée dans celui-ci est connecté au tuyau d’injection de gaz (5) disposé à l’extérieur de la chambre de traitement (1) et où l’élément de chambre de génération de plasma (6) est pourvu à son extrémité d’une unité de régulation de gaz (7). Il est construit de telle sorte que si l’élément de chambre de génération de plasma (6) est réduit par le plasma de réduction produit à partir du gaz injecté par l’unité de régulation de gaz (7), l’unité de régulation de gaz (7) injecte un gaz de ré-oxydation au lieu de gaz de réduction dans la chambre de génération de plasma (6a).
(JA) 導入されるプロセスガスから生成される還元性プラズマによってプラズマ発生室が還元されることによるプラズマ処理装置の機能の低下を防止し、プラズマ発生室部材をはじめとする還元性プラズマに接する部材の長寿命化を実現する。本実施形態のプラズマ処理装置は、プロセスガスを励起させて生成したラジカルによって被処理物Sの表面を処理する装置であり、プロセス室1外部に取り付けられたガス導入管5には、内部にプラズマ発生室6aを備えたプラズマ発生室部材6が接続され、このプラズマ発生室部材6の端部にはガス制御部7が設けられている。このガス制御部7から導入されるガスから生成される還元性プラズマによりプラズマ発生室部材6が還元された場合には、ガス制御部7により還元性ガスに換えて再酸化ガスをプラズマ発生室6aに導入するるように構成されている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)