WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2006016619) 基板処理装置、使用状況確認方法、及び不正使用防止方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/016619    国際出願番号:    PCT/JP2005/014685
国際公開日: 16.02.2006 国際出願日: 10.08.2005
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G06F 21/22 (2006.01), G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NIKON SYSTEMS INC. [JP/JP]; 3-3, Minatomirai 2-chome, Nishi-ku, Yokohama-shi Kanagawa 2206116 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKITA, Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAGUCHI, Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Hiroyuki; (JP).
OKITA, Shinichi; (JP).
YAMAGUCHI, Tadashi; (JP)
代理人: MAEDA, Hitoshi; MAEDA & NISHIDE 2F, Tokyodo Jinboucho 3rd Bldg. 1-17, Kandajinboucho 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010051 (JP)
優先権情報:
2004-235216 12.08.2004 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, USE STATE ASCERTAINING METHOD, AND FALSE USE PREVENTING METHOD
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ D’IDENTIFICATION D’UTILISATION, ET PROCÉDÉ DE PRÉVENTION DE MAUVAISE UTILISATION
(JA) 基板処理装置、使用状況確認方法、及び不正使用防止方法
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To make it possible to ascertain whether a substrate processing apparatus is falsely used or not and to prevent the false use if any. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A license file (LF) contains encrypted license information L including the use condition of a substrate processing apparatus on a specific user. A conformity ascertaining program (P2) ascertains the conformity among the content of the license file (LF) decrypted by a decrypting program (P1), apparatus information DI collected from the substrate processing apparatus, network information NI, and the current time CT and ascertains whether there is any false use. If there is any false use, the operation of the substrate processing apparatus is stopped until a control program (P3) takes a predetermined measure according to the information from the conformity ascertaining program (P2).
(FR)[PROBLÈMES] Rendre possible l’identification de l’utilisation, mauvaise ou non, d’un appareil de traitement de substrat, et la prévention de cette mauvaise utilisation, le cas échéant. [MOYENS DE RÉSOLUTION DES PROBLÈMES] Un fichier de licence (LF) contenant des informations cryptées relatives la licence L, incluant les conditions d’utilisation d’un appareil de traitement de substrat relatives à un utilisateur particulier. Un programme d’identification de conformité (P2) permettant d’identifier la conformité du contenu du fichier de licence (LF) décrypté à l’aide d’un programme de décryptage (P1), des informations de l’appareil DI rassemblées par l’appareil de traitement de substrat, des informations de réseau NI, et du temps actuel CT, et déterminant l’existence d’une mauvaise utilisation ou non. Si une mauvaise utilisation est identifiée, le fonctionnement de l’appareil de traitement de substrat est interrompu jusqu’à ce qu’une mesure prédéterminée soit entamée par un programme de contrôle (P3) en fonction des informations données par le programme d’indentification de conformité (P2).
(JA)【課題】 基板処理装置が不正使用されているか否かを確認することができ、不正使用の事実がある場合にはその使用を防止できるようにする。 【解決手段】 ライセンスファイルLFは、基板処理装置の特定使用者に対する使用条件を含むライセンス情報Lを暗号化したファイルである。整合性確認プログラムP2は、復号プログラムP1によって復号されたライセンスファイルLFの内容と、基板処理装置から得られる装置情報DI、ネットワーク情報NI、及び現在時刻CTとの整合性を確認して不正使用の事実の有無を確認する。不正使用がある場合には、整合性確認プログラムP2からの情報に基づいて制御プログラムP3が所定の処置がなされるまで基板処理装置の動作を停止させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)