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1. (WO2006016486) 薬液供給システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/016486    国際出願番号:    PCT/JP2005/013919
国際公開日: 16.02.2006 国際出願日: 29.07.2005
IPC:
F04B 43/06 (2006.01), F04B 43/10 (2006.01)
出願人: CKD CORPORATION [JP/JP]; 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi Aichi 4858551 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OCTEC INC. [JP/JP]; 22-1, Wakaba 1-chome, Shinjuku-ku Tokyo 1600011 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OKUMURA, Katsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ITOH, Shigenobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TOYODA, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUGATA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OKUMURA, Katsuya; (JP).
ITOH, Shigenobu; (JP).
TOYODA, Tetsuya; (JP).
SUGATA, Kazuhiro; (JP)
代理人: YAMADA, Tsuyoshi; Daiichi Hasegawa Bldg. 6F 13-24, Meieki 3-chome, Nakamura-ku Nagoya-shi, Aichi 450-0002 (JP)
優先権情報:
2004-232071 09.08.2004 JP
発明の名称: (EN) CHEMICAL LIQUID SUPPLY SYSTEM
(FR) SYSTEME DE DISTRIBUTION D'UN LIQUIDE CHIMIQUE
(JA) 薬液供給システム
要約: front page image
(EN)A chemical liquid supply system where the production of heat from a pump is prevented in operation and where a discharge pump for dropping a chemical liquid from a head nozzle can be reduced in size. Compressed air is supplied to an upper space (15a) of a resist bottle (15) to pump a positively pressurized chemical liquid into a pump chamber of a discharge pump (11), thereby the pump chamber is filled with a resist liquid (R). This eliminates the need of a conventional construction where a spring etc. are used to drive a flexible film of the discharge pump (11) to the operation chamber side to suck the resist liquid (R). As a result, an electric motor is eliminated to render a semiconductor wafer (47) free from damage by heat, and in addition, the discharge pump (11) itself can be further reduced in size.
(FR)Système de distribution d’un liquide chimique où la production de chaleur à partir d’une pompe est empêchée durant son fonctionnement et où la taille d’une pompe de vidange servant au déversement du liquide chimique depuis un embout de tête peut être réduite. De l’air comprimé est fourni au niveau d’un espace supérieur (15a) d’une bouteille de réserve (15) pour pomper un liquide chimique sous pression positive dans la chambre de pompage d’une pompe de vidange (11), moyennant quoi la chambre de pompage est remplie avec un liquide de réserve (R). Ceci supprime le besoin d’une construction conventionnelle où un ressort etc. sont utilisés pour entraîner un film flexible de la pompe de vidange (11) vers le côté opérationnel de la chambre pour aspirer le liquide de réserve (R). Suite à quoi, un moteur électrique est supprimé pour protéger une gaufrette semi-conductrice (47) contre une détérioration due à la chaleur, et en outre, la pompe de vidange (11) elle-même peut être réduite en taille.
(JA) 作動時にポンプからの発熱を防止し、先端ノズルから薬液を滴下させる吐出ポンプの小型化を実現できる薬液供給システムを提供する。  レジストボトル15の上層空間15aに圧縮空気を供給することで吐出ポンプ11のポンプ室内に陽圧とされた薬液を加圧圧送することにより、ポンプ室内にレジスト液Rが充填される。このため、吐出ポンプ11の可撓性膜を作動室側へ駆動してレジスト液Rの吸入動作を行わせるべく、スプリング等を使用するという従来の構成を採用する必要がなくなる。これは、電動機を排除して熱によるダメージを半導体ウェハ47に与える虞がないのは勿論のこと、吐出ポンプ11自体をより一層小型化できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)