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1. (WO2006013814) 結晶化膜の形成方法及びその装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2006/013814    国際出願番号:    PCT/JP2005/014025
国際公開日: 09.02.2006 国際出願日: 01.08.2005
IPC:
H01L 21/20 (2006.01), B23K 26/00 (2006.01), B23K 26/067 (2006.01), H01L 21/268 (2006.01)
出願人: THE JAPAN STEEL WORKS, LTD. [JP/JP]; 1-2, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000006 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOBAYASHI, Naoyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KUSAMA, Hideaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INAMI, Toshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOBAYASHI, Naoyuki; (JP).
KUSAMA, Hideaki; (JP).
INAMI, Toshio; (JP)
代理人: SOGA, Michiteru; S. Soga & Co., 8th Floor Kokusai Building, 1-1 Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2004-230095 06.08.2004 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING CRYSTALLIZATION FILM AND ITS EQUIPMENT
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILM DE CRISTALLISATION ET ÉQUIPEMENT CORRESPONDANT
(JA) 結晶化膜の形成方法及びその装置
要約: front page image
(EN)Since a laser light source emits a bundle of rays having a spread angle, a laser light transmitted through a plurality of level difference parts of an optical path difference generating member impinges on one lens part of an array lens to cause interference inevitably when an image is formed on an article to be illuminated. Means (2, 3) for dividing/contracting a laser light (1) in one side view into a plurality of split light beams (9) and obtaining a contracted split light beam (10) by separating each split light beam (9) to individual contracted bundle of rays, an optical path difference generating member (7) having a block (7a) for transmitting each contracted split light beam (10) individually while reducing reflection off the split surface side and generating an optical path difference mutually so as to adjust coherency, and a lens (5) for condensing the contracted split light beam (10) transmitted through the optical path difference generating member (7) are provided to a laser light source A emitting the laser light (1) as a bundle of rays having a spread angle &thetas;, whereby a plane (6) to be irradiated is illuminated with a laser light superposed after being passed through the condenser lens (5).
(FR)Comme une lumière laser source émet un faisceau de rayons ayant un angle d’étalement donné, une lumière laser transmise à travers une pluralité de parties différentielles de niveau d’un élément générateur de différence de chemin optique frappe une partie lentille d’une matrice de lentilles pour provoquer une interférence de manière inévitable en cas de formation d’image sur un article à éclairer. Des moyens (2, 3) pour diviser/contracter une lumière laser (1) dans une vue monolatérale en une pluralité de faisceaux lumineux scindés (9) et obtenir un rayon lumineux scindé contracté (10) en séparant chaque rayon lumineux scindé (9) en faisceau contracté individuel de rayons, un élément générateur de différence de chemin optique (7) ayant un bloc (7a) de transmission de chaque rayon lumineux scindé contracté (10) individuellement tout en réduisant la réflexion du côté superficiel scindé et en générant une différence de chemin optique l’un par rapport à l’autre pour ajuster la cohérence, et une lentille (5) pour condenser le rayon lumineux scindé contracté (10) transmis à travers l’élément générateur de différence de chemin optique (7) sont ajoutés à une source de lumière laser A émettant la lumière laser (1) sous forme de faisceau de rayons ayant un angle d’étalement &thetas;, tandis qu’un plan (6) à irradier est éclairé avec une lumière laser superposée après avoir traversé la lentille de condensateur (5).
(JA)レーザ光源は、拡がり角を有する光線束を射出するため、アレイレンズの1つのレンズ部分には、光路差生起部材の複数の段差部分を透過したレーザ光が入射し、被照明物体に結像するとき、干渉することを免れ得ない。拡がり角θを有する光線束としてのレーザ光1を射出するレーザ光源Aに対し、一側面視でレーザ光1を複数に分割・縮小して分割光線9となした後、各分割光線9を個別の縮小光線束にして縮小分割光線10を得る分割・縮小手段(2,3)と、各縮小分割光線10を分割面側での反射を低減させて個別に透過させ、コヒーレント性を調節するように相互に光路差を生起させるブロック部7aを備える光路差生起部材7と、光路差生起部材7を透過した縮小分割光線10を集光させる集光レンズ5とを備えさせ、集光レンズ5を透過させて重畳したレーザ光によつて被照射面6を照明させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)